中古 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293826125 を販売中
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ID: 293826125
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2005
ICP Etcher, 6"
Cassette type: Loadlock and transfer chamber, 6"
ESC Chuck type: Process chamber, 6"
RF Generator module
EDWARDS STP-A1303CV Turbo pump
SKM SKMCS-30W Chiller
ENI NOVA-50 RF Generator
COMDEL DBS RF Generator
EMS 04500-011 Robot
Throttle / Gate valve: NC TPV / IPV Valve inspection
Process chamber: Vesaline DSE Process
Monitor
MKS Gases: C4F8, SF6, Ar, O2, N2
2005 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Versalineは、半導体加工、MEMSデバイス製造、フォトニックデバイス製造、およびその他の薄膜蒸着プロセスを含む、幅広い用途向けの主要なエッチャー/アッシャーです。UNAXIS Versalineは、優れた再現性とタイトなサイズ制御により、高品質のエッチングとアッシングプロセスを提供します。この装置は、最新のMEMS製造技術を使用して、優れた均一性と量産準備を保証します。独自のプラズマ技術を活用したUNAXISとPLASMATHERM Versalineは、優れた均一性と制御性を提供し、基板処理時間の短縮とデバイス仕様の改善を実現します。アッシャー/エッチャーは、小さなフットプリントで高いスループット、クリーンでコスト効率の高いソリューションを提供します。密閉されたチャンバー設計と低い運用ノイズを備えたVersalineは、ユーザーフレンドリーで省スペースのプラットフォームを提供します。また、サードパーティの安全要件にも認定されているため、信頼性が高く安全に動作できます。スケーラビリティの面では、PLASMATHERM/UNAXIS Versalineは最大150w RFパワーと500m2の処理面積を備えた設計です。4バスケット設計により、バッチおよび単一の基板プロセスの柔軟な構成を可能にします。さらに、オプションの自動ロードロッカー、基板アライメントローバ、リアルタイム監視および制御システムなど、さまざまなアダプティブ機能により、オペレータは常に一貫した製品品質を維持することができます。UNAXIS Versaline etcher/asherは、高度にカスタマイズ可能なマシンでもあり、既存のプロセスインフラストラクチャに簡単に統合できます。このツールは、さまざまなプロセスモジュールと統合されており、手作業によるプログラミングを最小限に抑え、効率的で自動化されたワークフローを可能にし、資産のパフォーマンスとスループットを最大化します。エッチャー/アッシャーは、高度なクリーニングコンポーネント、輸送周辺機器、RFマッチングユニットなどの幅広いアクセサリーでもサポートされており、モデルは特定のエッチングのニーズを満たすことができます。全体として、PLASMATHERM Versaline etcher/asherは、優れた性能、耐久性、拡張性、柔軟性を提供し、ユーザーに必要な信頼性、再現性、費用対効果の高い結果を提供するため、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに最適です。
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