中古 PLASMATHERM / UNAXIS Versaline #293817395 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS Versalineは、プラズマエッチングによるドライエッチング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。多様な半導体デバイス加工用途の基板エッチング・アッシングが可能です。この装置は、航空宇宙および自動車エレクトロニクス業界向けにカスタマイズされており、さまざまなサイズの形状の複雑な3D機能のための強力なドライエッチングツールです。最適なエッチング結果を得るために、多目的プラズマソースを使用することで、正確なパターン作成、優れた均一性、およびスループットの向上を実現します。UNAXIS Versalineは、5。9インチのマルチレベルプラズマソースを備えており、エッチング処理を正確に制御し、正確なナノパターニングと高アスペクト比エッチングを可能にします。プラズマ源はアルゴンをエッチングガスとして利用しており、O2とCF4プラズマエッチングが可能です。これにより、エッチング率の異なる異なる種類の材料のエッチングが可能になります。さらに、PLASMATHERM Versalineの高度なロボットアーム技術と自動ローディング/アンロード装置は、自動化された生産ソリューションを提供し、多くの手動プロセスを排除し、スループットとシステム全体の生産性を向上させます。Versalineには、脱イオン水洗浄とドライオフ技術の両方を利用した統合クリーニングユニットがあり、エッチング後に基板表面がきれいになるようにしています。さらに、表面処理チラーモジュールを備えており、アッシングプロセスを支援します。PLASMATHERM/UNAXIS Versalineのモニタリングマシンは、最適な結果を保証するために、エッチングおよびアッシングプロセスをリアルタイムで監視および分析するための高度なデータ収集ツールを備えています。このアセットには、簡単な操作を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスと、エッチングとアッシング中のプロセスを監視するモーションコントロール付きの高解像度カメラが含まれています。UNAXIS Versalineに適切な操作を保障する堅牢な安全モデルがあります。この機器には、緊急停止、排気バルブ、光学および電気安全センサー、アラームおよび状態インジケータが含まれます。また、クリーンな作業環境を確保するため、機械から不要なガスを排出する排出制御装置を削減しています。PLASMATHERM Versalineは、マイクロエレクトロニクス業界に理想的な強力で柔軟なエッチャー/アッシャーです。先進的なプラズマソースと自動ローディングツールにより優れた結果を得ることができ、統合された安全資産により、エッチング処理が安全に行われます。複雑な3D機能やナノスケール機能を必要とするアプリケーションに最適で、スループットと均一性を向上させます。