中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9275973 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLRは、硬質材料の精密微細加工用に設計された高速プラズマエッチングおよびアッシングソリューションです。半導体やMEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）などの先端技術アプリケーションの製造に最適なさまざまな機能を備えています。UNAXIS SLRは、300mm x 600mmまでの基板処理能力を備え、高度なプロセス柔軟性と高い生産性を備えています。エッチング速度60 μ m/minまでの金属、セラミックス、ポリマーなど多種多様な材料のアッシングやエッチングに適しています。プラズマエッチングとアッシング装置は、基板の精密な加工を可能にする3アームロボットプラットフォーム上に構築されています。その双圧技術は、基板全体にわたって均一なエッチング速度を最高の精度で提供します。また、業界で最も高速で堅牢なエッチング/アッシュシステムを提供しています。PLASMATHERM SLRは、高度なプラズマ制御システムを使用して、高品質のマイクロマシン構造を提供します。3段階のプラズマ抽出システムにより、高い基板収率と低い運用コストが保証されます。チューニング可能なプラズマ源は、基板材料特性に依存しない最適なエッチング速度と均一性を保証します。このユニットはまた、塩素、酸素、窒素、アルゴンなどの幅広いプラズマガスのオプションを提供し、異なる材料のアプリケーションを可能にします。また、高度なプロセスオートメーションにより、大容量と小容量の両方の操作が可能になり、オペレータの介入を最小限に抑えることができます。SLRは信頼性が高く、高性能だけでなく長年の問題のない操作を提供します。統合されたフットスイッチにより、マシンの安全なリモート制御が可能になります。コンパクトな設計と簡単な設置により、高速スループット、高精度、および高い製品歩留まりを必要とするアプリケーションに最適です。