中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9262446 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLRは、Si、 GaAs、 SOI、 GaN、 RTP、 PECVDなどの高度な材料の高清浄、高性能エッチングおよびアッシング用に特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このツールは、エッチングの均一性を向上させ、優れたオーバーエッチング防止に貢献し、優れたプロセス安定性を確保するための新しい設計の単一RF電源を備えています。単一のRFポンプはまた各ヒーターの熱予算を減らし、より短いエッチング時間を可能にします。このマシンに付属しているソフトウェアパッケージは、ソース電源およびパワーレベル制御からパルス時間制御およびチャンバ安定性まで、すべてのRF電源パラメータを制御します。プラズマ監視に使用されるサンプリングカメラ装置は、正確な非破壊的なプロセス監視により、現場でのプロセス最適化を可能にします。制御システムはまた、プロセスレシピのセットアップと変更を可能にすることにより、新しい革新的なプロセスシステムの広い範囲を可能にします。さらに、マイクロウェーブ技術に基づいたパワーユニットを装備し、精度とプロセス制御の柔軟性をさらに高めます。また、低温冷却機もオプションで用意されており、一部の材料では-100°C付近のプロセス温度が可能です。さらに、プロセス汚染を低減し、エッチングの均一性を向上させるために、さまざまな真空システムを搭載しています。UNAXIS SLRには高度な自動補正エンドポイント検出ツールがあり、オーバーエッチングを防止し、再現性を確保します。機械の標準的なプロセスチャンバーには、エッチング用の75。4mm x 102mmの窓面積と15。2リットルエッチボリュームがあります。セラミックライナーアップグレードを使用すると、使用可能なウィンドウエリアを43。4％、エッチング量を50％増加させることができます。PLASMATHERM SLRは、高度なデバイスの製造に理想的なツールであり、優れたエッチング均一性、安定したプロセス、および最先端の監視システムを提供するツールを探しているプロセスエンジニアのための素晴らしいオプションです。