中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR #9250539 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLRは、UNAXIS社のハイエンド用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。マルチチャンバー設計、マルチエッチング、アッシングシステムを備えた高性能ドライエッチングツールです。高真空チャンバーを備えており、様々な材料の成膜やエッチングを可能にし、複雑な構造やパターンを形成します。また、ライン間の間隔を制御し、正確なパターンを作成して処理時間を短縮するための高速多段平面化システムを備えています。また、エッチングとアッシング時間とプロセスを素早く変更し、プロセスのパフォーマンスを最適化する機能も備えています。チャンバーは、高圧および温度で動作可能な複数のエッチングおよびアッシングシステムでマークアップすることができます。これにより、異なるエッチングおよびアッシングプロセスをさまざまなウエハや基板に適用することができます。このマシンはまた、複雑な構造を持つ高解像度のパターンを作成するために、複数のエッチングステップを適用することができます。強力なガスツールと高度な光学システムを組み合わせることで、欠陥率が低く、高い再現性と均一性を備えた素材をエッチングおよび灰色にすることができます。このモデルは、過熱と酸化を避けるために、最高圧力と低温でプロセスを適用することもできます。この装置は、シングルサイド基板、LCD、フィルム、金属などの材料にさまざまなエッチングおよびアッシングプロセスを適用できます。また、エッチング/アッシュプロセスの生産性を向上させることができる自動実行システムとエラー訂正ユニットを備えています。UNAXIS SLRには、高解像度パターンに不可欠な基板の正確なアライメントを確保するためのハイエンドウェーハアライメントマシンも付属しています。全体的に、PLASMATHERM SLRは、複雑で複雑なパターンのエッチングから、液晶、フィルム、金属などのアッシングまで、幅広い用途に使用できる高度なエッチングおよびアッシングツールです。また、高圧および低温での処理が可能であり、ウェーハアライメントとランニングシステムを自動化し、正確で再現性の高いプロセスと高い生産性を保証します。