中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 740 #9284674 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 740は、MEMSおよび微細加工アプリケーションにおけるスラブとウェーハの両方の超精密プラズマエッチングおよびアッシング用に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最小0。2 μ mスケールのパターンを作成することができ、研磨方法よりも優れた再現性を提供します。この装置は、パルス直流プラズマ源と高分解能の圧力差動システムを組み合わせて設計されており、表面近くの差圧領域を作成および維持してエッチングおよびアッシュします。これにより、プラズマシースの制御が向上し、材料の温度エッチング/アッシングが低くなります。UNAXIS SLR 740には、プロセス制御と品質向上のための多段プラズマエッチング/アッシング技術も含まれています。このユニットの高度な機能には、高精度で再現可能な高固形RFジェネレータが含まれており、機能ごとに低コストで一貫した信頼性の高いエッチング、アッシング、イメージングを保証します。さらに、このマシンには、複数のガスセットで使用するための専用の連続流量ガス供給モジュールが装備されています。これは、低温エッチング/アッシングを必要とするアプリケーションに最適であり、一貫した正確なプラズマ結果を保証します。このツールには、無制限のレシピとレシピのセキュリティを提供するVector Plus制御およびコンプライアンスソフトウェア、およびすべてのプロセス関連パラメータを監視および記録するためのインテリジェントでユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも含まれています。このアセットは、さまざまなUNAXISおよびnonPLASMATHERMの自動ハンドリングシステムおよび真空技術とも互換性があり、柔軟性を高め、ツール使用率を高速化します。シリコン、サファイア、ポリシリコン、アルミニウムなどの幅広い材料をエッチング/アッシュし、0。2 μ m以下の最小機能サイズを生成する機能を備えたPLASMATHERM SLR 740は、すべてのMEMSおよび微細加工アプリケーションに最適です。