中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 730 #293660356 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730エッチャー/アッシャーは、半導体産業のためのシリコンウェーハのエッチングとアッシングのための高精度で強力な生産ツールです。新たに設計された8チャンバプロセスチャンバーと大きなプロセスエリアを備えており、生産ラインのプロセスレシピから最高のエッチングとアッシング性能を発揮します。高真空・低圧でのバルク生産において、より効率的なプロセス結果と、最高の均一性と再現性を提供します。UNAXIS SLR 730には信頼性の高いRFジェネレータが装備されており、深さ、プロファイル、表面仕上げの点で均一で正確で堅牢なエッチングを保証します。高度なリニアモーションシステムとチューニングされた周波数により、直径300mmまでのウェーハを高解像度で再現可能なプロセスでエッチングすることができます。最先端のコンピューター制御、自動チューニング制御により、すべてのキャビティとエッチング時間の間の均一性が保証されます。さらに、PLASMATHERM SLR 730は、エッチングの均一性に最適なガス流量を確保するための独自のガス供給システムを使用しています。このシステムは、すべてのチャンバーからの均一なガス分布とチャンバへの均一な流量を提供するのに役立ち、高真空でのガス使用効率の向上とクリーンなプロセスのプロセスにつながります。さらに、SLR 730は、チャンバー、フィルタチューブ、支持構造、コンベア、真空およびガス供給ラインなどのモジュラーインターフェースと部品で構成されています。また、タイムクリティカルなプロセス制御とセンシングを処理するモジュラープログラマブルロジックコントローラ（PLC）を搭載し、動的表示、パラメータ調整、トレーサビリティメカニズムを提供します。最高の信頼性と安全性を確保するために、PLASMATHERM/UNAXIS SLR 730エッチャー/アッシャーは、ステンレス製の内装と外装、故障安全のための重要な機能部品の内蔵冗長性、ガスケット付きフランジ、電子キーロック、漏れ検出器、温度センサーで設計されています。また、適用されるすべての安全衛生規則および規格に準拠しています。