中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270614 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720は、幅広いプラズマベースのウェーハ処理アプリケーション向けに設計された、業界をリードする先進的なエッチングおよびアッシング機器です。その特徴はR&Dおよび生産の使用の両方のためにそれを適したようにします。UNAXIS SLR 720は、直径11インチ（270mm）の大きなチャンバーサイズで、フルサイズの300mmウェーハの加工が可能です。この構造は、超高圧および低圧のプラズマゾーンで構成されており、分離され独立しており、より高いプロセス柔軟性を可能にしています。システムには、可能な限り低温でエッチングと灰の均一性を保証するフルレングスの基板加熱ユニットが含まれています。チャンバーには、プロセス完了を検出するエンドポイント検出（EPD）ユニットが装備されています。マシンの高圧ゾーンは、最大1000Wに達するパワーレベルを持っています。自動周波数チューニング（AFT）によるデジタル浮動パワー制御により、プロセスの精度と再現性を維持します。また、均一性と再現性を高める調整可能なRFチューニングポイントも含まれています。このツールは、in-situ圧力監視も可能で、高いプロセス安定性と実行間の一貫性を確保します。一方、低圧帯は最大300Wのピーク電力を持ち、流動制御を備えた2つの独立したガスラインを備えています。最大4つの前駆体のガス組成と配送をリアルタイムで個別に制御できます。低圧エッチング化学は、乾燥エッチング機能に特有のもので、レジストストリッパー、エッチバック、厚さ制御プロセスなど、多くのプロセスに適用できます。操作中の安全性を確保するため、リモートコントロールのリークバルブが付属しています。PLASMATHERM SLR 720は、ユーザーがエッチングおよびアッシュプロセスの重要なウェーハ特性を監視するのに役立つ機能も提供します。それは部屋の温度、血しょう露出、RF力および圧力を監視します。さらに、タスクの完了を知らせるエンドポイント検出（EPD）機能を備えており、ウェーハの過剰処理を防ぎます。SLR 720エッチャー/アッシャーは、堅牢性、柔軟性、精度を兼ね備えた業界トップクラスの資産です。このオールインワンツールは、優れた効率とパフォーマンスを提供し、さまざまなアプリケーションに使用できます。PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720は、使いやすさと高精度を兼ね備えており、高品質で信頼性の高いウェーハ製品を作成するための優れた選択肢です。