中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9270532 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720は、幅広い基板に精密パターニングが可能な高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高度なイオンビームおよびプラズマ技術を使用して、金属、ポリマー、セラミックスなどの幅広い材料で高精度のエッチングとアッシングを実現します。UNAXIS SLR 720は、混合ガスプロセスを使用してエッチング率を最適化し、不要な材料の汚染や沈着を最小限に抑えます。PLASMATHERM SLR 720は、直径7インチまでの基板に対応するように設計されており、簡単なロードロックチャンバー変更で複数の部品のバッチエッチングを行うことができます。このユニットには特許取得済みのチルトステージ設計が含まれており、フォトリソグラフィを使用して基板のさまざまな層でエッチングをダイレクトに行うことができます。これにより、他のシステムよりも精度と精度の高い複雑なパターンや構造のエッチングが可能になります。このマシンはまた、一貫したプロセスを確実にするためのさまざまな機能を提供します。プロセスチャンバーはアクティブな圧力制御を備えており、さまざまなエッチング速度と基板に対応するために精密な圧力調整を行うことができます。また、エッチング速度を向上させる真空ポンプや、様々な材料のパターンのより均一なエッチングが含まれています。このツールはまた、インライン温度とガス流量制御を備えており、正確なプロセス制御と基板分析を可能にします。SLR 720は、自動化されたデータ収集機能と、簡単なデータ管理と分析のための統合ソフトウェア資産も提供します。これにより、プロセスの結果を簡単にキャプチャおよび分析し、エラーを特定し、結果の再現性を確保することができます。このソフトウェアには、ユーザーがプロセスを自動化し、特定の基板やアプリケーションのエッチングパラメータを最適化するのに役立つ機能も含まれています。エッチャー/アッシャー機能に加えて、PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720には、さまざまな診断機能を容易にするための高度なモデル制御も含まれています。これには、基板特性評価、温度プロファイル、閾値解析が含まれます。これにより、ユーザーはプロセス内の問題を特定し、品質問題が発生する前に是正措置を講じることができます。全体的に、UNAXIS SLR 720は、さまざまな材料で信頼性の高い正確なパターニングを実行できる高度なエッチャー/アッシャー装置です。統合されたソフトウェアと高度な制御機能により、ユーザーはプロセスを簡単に監視し、結果の再現性を確保できます。このシステムは、研究から生産まで、幅広い用途に最適なソリューションです。