中古 PLASMATHERM / UNAXIS SLR 720 #9229827 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS SLR 720は、精密プラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーユニットです。シリコン、石英、半導体、サファイア、その他の材料を含む基板の2Dまたは3Dエッチングおよびアッシングに最適化されています。UNAXIS SLR 720は、UNAXISインラインプラズマエッチング技術（IPE）を使用して、高いスループットで正確で繰り返し可能なプロセス結果を提供します。このユニットは、最大720ウェーハの容量を持つCVDチャンバーを備えています。ダイレクト駆動のロードロックと高い再現性を持ち、圧力調整インテリジェントシステムは、粒子のない環境を維持しながら圧力を動的に調整します。エッチングチャンバーには調整可能なプロセス圧力があり、PLASMATHERM MHD精密プラズマソースが装備されています。SF6、 CF4、 CF2Cl2など幅広いエッチングガスで優れた選択性を維持しながら、非常に高いエッチング率を実現します。このユニットには、エッチングおよびアッシングガスの正確な投与のための電子マスフローコントローラ、およびエッチングおよびアッシングプロセス中の基板の温度を制御する機能が装備されています。さらに、高精度のプルームイメージング技術をサポートし、エッチング工程を積極的に監視し、エッチングレシピを調整して安定性と精度を向上させます。また、プロセスパラメータを素早く最適化するための高速チューニング機能も備えています。安全面では、複数のプロセス圧力制御機能と多数の圧力安全センサーを搭載しています。これにより、人員と機密サンプルの安全な環境が確保され、プロセス障害のリスクが低減されます。さらに、安定したプロセス環境を確保するための効果的なCO2冷却システムを備えています。全体として、PLASMATHERM SLR 720は、精密プラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーユニットです。これは、多くの安全機能と高度なプロセス制御を備えており、再現性と信頼性の高いプロセス結果を可能にします。