中古 PLASMATHERM / UNAXIS Shuttleline #9351989 を販売中

PLASMATHERM/UNAXISシャトルラインは、マイクロエレクトロニクスおよびナノテクノロジー業界で使用される革新的なウェットエッチャー/アッシャーです。UNAXIS Shuttlelineは、シングルソースで低コストのウェーハ処理プラットフォームを備えており、選択可能なエッチング/アッシングレシピを使用して、最大20ウェーハの同時処理を可能にします。シングルウェーハプリクリーンおよびポストクリーンステーション、およびスループット向上のためにアップグレード可能なオプションのバッチディッププリクリーンおよびポストクリーンシステムを含む自己完結型ユニットとして設計されています。プロセスチャンバーには、最大250°Cの高温オプション、異なるエッチング/アッシングレシピ用の静的チャンバーまたは動的チャンバ、およびその場でプロセス制御を使用してプロセスイベントを監視する機能があります。PLASMATHERM Shuttlelineは、最大150mmのウェーハサイズを処理する機能を備え、幅広いウェーハサイズと材料を処理するように設計されています。シャトルラインには、処理時間を短縮し、スループットを向上させる「アンチロックチャンバー」も搭載しています。さらに、PLASMATHERM/UNAXIS Shuttlelineには、ユーザー定義のレシピを保存およびリコールするためのレシピ管理機器と、後で分析するためのラミネートプロセス画像をキャプチャすることができる組み込みのデータ取得および分析システムが装備されています。UNAXIS Shuttlelineは、高度な機能に加えて、柔軟性と使いやすさを兼ね備えた設計となっており、交換可能なウェーハキャリアと自動診断機能を備えており、迅速かつ簡単にメンテナンスできます。さらに、危険物質の放出や機器の損傷を防ぐために、緊急時の圧力遮断機や自動遮水弁などの安全機能を備えています。最後に、PLASMATHERM Shuttlelineのオープンアーキテクチャにより、カスタムアプリケーション用に、他のシステムと簡単に統合できます。全体として、シャトルラインウェットエッチャー/アッシャーは、マイクロエレクトロニクスやナノテクノロジー産業に最適な、非常に高度で信頼性の高いエッチング/アッシング機器です。柔軟性、安全性、費用対効果、使いやすさを兼ね備えているため、エッチング/アッシング作業に最適です。