中古 PLASMATHERM / UNAXIS Series 70 #293664981 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS Series 70は、様々な基板の高速かつ精密なエッチングおよびアッシング処理用に設計された、費用対効果の高い高度なアッシャー/エッチャー装置です。半導体、電子部品、ゼネラルエンジニアリング、医療機器など、さまざまな産業に適しています。UNAXISシリーズ70は、基板温度制御（STC）とクローズドループ・フィードバック（CLF）で構成されています。これらの機能により、基板温度を正確に制御することにより、エッチングとアッシングの精度と均一性を向上させます。STCはまた、エッチングプロセスを強化し、エッチング速度と均一性をより正確かつ効率的に制御するのに役立ちます。PLASMATHERMシリーズ70は、高度なエッチングおよびアッシュプロセス機能を提供します。シングルサイクルで、最大80個のウェーハを同時にエッチングまたはアッシングすることができます。エッチャー/アッシャーは複数のプロセスチャンバーで設計されており、最大80個のウェハを同時にエッチングおよび/またはアッシングできます。チャンバーには自動ウェーハアライメント機能も装備されており、エッチャー/アッシャーはウェーハを所望の場所に正確に移動させ、プロセス中にウェーハが回転するのを防ぐことができます。さらに、シリーズ70には自動ウェーハピックアップシステムが搭載されており、エッチングおよびアッシングワークの安全で迅速かつ正確なローディングが可能です。PLASMATHERM/UNAXIS Series 70は、直感的で使いやすいWindowsベースのプラットフォームも備えています。このプラットフォームは、オペレータに独自の要件に応じてエッチングおよび灰プロセスをカスタマイズする機能を提供します。ユニットには、プロセスのパフォーマンスを最適化するために設定および調整できるさまざまなパラメータのホストも含まれています。UNAXIS Series 70は、高い信頼性と耐久性を備えて設計されており、様々な業界の需要の高いアプリケーションに適しています。堅牢な設計と優れたビルド品質により、さまざまな生産環境での継続的な使用に対応できます。その柔軟性により、PLASMATHERM Series 70は、バッチ生産の小型化やエッチングおよびアッシングパラメータの頻繁な変更を必要とするアプリケーションに最適です。シリーズ70は、さまざまな基板の精密エッチングとアッシング用に設計された、費用対効果の高い高度なエッチャー/アッシャツールです。このアセットには、基板温度制御やクローズドループ・フィードバックなど、基板温度の精密制御を可能にする様々な機能が搭載されています。最大80個のウェーハを同時にエッチングおよび/またはアッシングすることができ、直感的でユーザーフレンドリーなWindowsベースのプラットフォームを備えています。PLASMATHERM/UNAXIS Series 70は、高い信頼性と耐久性を備えて設計されており、様々な業界の需要の高いアプリケーションに適しています。