中古 PLASMATHERM / UNAXIS Batchtop VII #9123993 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VIIは、幅広い材料に精密で信頼性の高い処理性能を提供するように独自に設計された高度なエッチャーおよびアッシャーです。このエッチャーとアッシャーは、金属、ポリマー、セラミック、石英、さらにはより複雑な多指令エッチングなど、すべての材料を処理することができます。さまざまなコンピュータ制御プロセスを通じて、さまざまな基板や部品に精密な機能を正確にエッチングすることができます。UNAXIS Batchtop VIIは、プラズマまたはリアクティブイオンエッチング（RIE）を使用して、パターン化されたレイヤーとフィーチャーを基板にエッチングします。最大精度のために、この機械は低圧、高均一性、高いプロセスレート、および高い選択性を維持する誘電プラズマを利用しています。これにより、正確にエッチングされた層が均一で非常に詳細であることが保証されます。機械は最高の柔軟性および適応性のために設計されています。それは容易に構成可能で、あらゆるユーザーの必要性そして好みに合わせてカスタマイズすることができます。PLASMATHERM Batchtop VIIにはクイックリリースコンポーネントが装備されており、簡単なメンテナンスと修理が可能です。このマシンはまた、複数のレシピ管理をサポートしており、エッチレシピ間の簡単な通勤を可能にします。バッチトップVIIには、エッチャーとアッシャーの安全で安全な動作を保証する安全機能が含まれています。この機械はESDの安全であるように設計され、汚染を減らすのを助ける作り付けのイオン化ファンを含んでいます。このマシンには、チャンバの正しい動作を保証するインターロックシステムも含まれており、プラズマ生成フィールドに対する完全な保護を提供します。さらに、このマシンには、問題が発生したときにユーザーに警告する予測メンテナンスシステムが装備されています。このマシンには、プロセスを監視するセンサーが内蔵されており、問題のトラブルシューティングに使用できます。さらに、PLASMATHERM/UNAXIS Batchtop VIIには、各ジョブのエッチング履歴を確認できるリアルタイムプロセストレーサビリティ機能が搭載されています。全体として、UNAXIS Batchtop VIIは非常に高度なエッチングとアッシャーで、正確で信頼性の高いエッチングとアッシング性能を提供するように設計されています。様々な素材のエッチングが可能で、柔軟な設計によりメンテナンスやカスタマイズが容易です。また、さまざまな安全機能と予知保全システムを備えており、安全で安全な動作を保証します。