中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9375333 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790は、UNAXIS/PLASMATHERMによって開発された、高度なパッケージングアプリケーション用の基板のエッチングおよびアッシング用のエッチング/アッサシステムです。ディープリアクティブイオンエッチングやドライエッチング技術を駆使し、各種素材のエッチングやアッシングを行うコンパクトなベンチトッププラットフォームです。高いエッチング精度、再現性、高いスループットの利点を兼ね備えており、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。このシステムは、さまざまな基板をサポートすることができる単一のチャンバーユニットであり、アッシャーやドライエッチングなどのさまざまなエッチング処理に使用できます。腐食性ガス供給を最適化し、高いスループット、再現可能なエッチング/アッシングプロセスを実現する堅牢な室内RFジェネレータを提供します。RFジェネレータによって生成されたプラズマは、あらゆるタイプのエッチングや灰の基板に高イオンおよびエネルギッシュな粒子を生成するために使用されます。このマシンは、高圧コントローラと高度なソフトウェアツールによって制御され、プロセスパラメータを監視および制御するために使用されます。アセットには真空コントローラと圧力モニターがあり、正確で繰り返し可能なエッチングとアッシングを保証します。最後に、このモデルは、ドアのインターロック、ガス漏れ検出器、ガス警報装置など、さまざまな安全機能も備えています。これらの安全機能は、危険な発煙やガスの偶発的な放出を防止することにより、ユーザーの安全を確保します。全体的に、UNAXIS 790は多様で信頼性の高いエッチング/アッシングシステムであり、さまざまな高度なパッケージングアプリケーションに使用できます。これは、最も要求の厳しい本番アプリケーションにおいて、高いスループットと再現性を提供します。