中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9157170 を販売中

PLASMATHERM / UNAXIS 790
ID: 9157170
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
ICP etcher, 8" Manual load Non-load lock Single chamber Advanced energy RF5S- 500W RF power supply for lower electrode AM5 match work and controller Advanced energy RF10M - 1000W RF power supply for upper electrode AM10 match work and controller Leybold 361C turbo pump with 150/360 controller HP 919 Hot Cathode Ion gauge controller (6) MFCs, He backside wafer cooling, Clamp style chuck 2000 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS 790は、高精度エッチング用途向けに設計された高度なエッチャー/アッシャーです。この革新的なツールは、最先端の技術を使用して、信頼性の高い品質で優れたパフォーマンスを提供します。パワフルなプラズマジェネレータは、可変ビーム軌道を備えたUNAXIS 790 Wのプラズマ出力を実現し、幅広い接着特性を持つ多様な材料や基板エッチングに最適です。このマシンには、プロセスサイクルをプログラミングし、出力パラメータを設定し、機器の性能を監視できるPC制御プロセス管理ソフトウェアが装備されています。さらに、このソフトウェアにより、オペレータは正確なガス導入でチャンバー温度を正確に制御することができます。柔軟性の高い設計により、幅広いプロセスパラメータと基板構成を可能にします。PLASMATHERM 790は、25リットルのチャンバー容量、5 Kgの充電容量、および400°Cまでの温度に達する能力を持つタワー型ワークゾーンを備えています。また、必要なパラメーター技術とプロセスを監視する高度な非接触制御システムが装備されています。このエッチャー/アッシャーには、ケミカルエッチング、成膜、エッチング用途において比類のない精度を提供するデュアルパルスおよびリアクティブイオンエッチングプロセス制御も付属しています。さらに、高度に自動化されたマシンは、プラズマの活性化や自動ガス純度監視など、多くの自動システムを備えています。790には、タッチスクリーンオペレーターパネル、デジタル顕微鏡、自動欠陥検査ユニットなど、さまざまなユーザーフレンドリーなアクセサリーがあります。これらのアドオンは、完全なプロセス制御と優れた機械性能を提供します。さらに、このユニットは、24時間365日のリモート診断、メンテナンス、オンラインヘルプを含む包括的なサービスとサポートパッケージでサポートされています。これにより、ユニットは常にピーク性能で動作します。PLASMATHERM/UNAXIS 790は、幅広い素材のエッチングとアッシングに最適なツールです。その高度な機能、堅牢な構造、およびユーザーフレンドリーなデザインは、大規模または小さな研究プロジェクトで行われるかどうかにかかわらず、あらゆるエッチングやアッシング作業に最適です。
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