中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9156667 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790は、高度で高性能な平行プレートロッドレスエッチャー/アッシャー装置です。それは複雑な表面の信頼でき、経済的なエッチングのために設計されています。UNAXIS 790は、直径250mmまでの基板の迅速なエッチングを容易にし、高精度な動作を提供します。静電極、固定動電極、独立した掃引可能電極を組み合わせた2つの独立したエッチングおよびアッシング電極を備えたプロセスチャンバーを備えています。これにより、ユーザーはエッチングパターンの柔軟性を提供し、任意のサーフェスジオメトリを均一または選択的にエッチングできます。PLASMATHERM 790には、さまざまなリモートコントロールオプションを含む直感的な自動制御システムが装備されています。それは容易なアセンブリ、維持管理のために設計されています。コンパクトなフットプリントを備えているため、ほとんどの実験室の設定に収まることができます。洗練された高集積ユニットは、優れた再現性と信頼性と正確なエッチングを提供します。790は4つの独立したガス配分システムを利用しており、異なるガスの流量と混合量を調整し、精密なエッチング制御を実現しています。この機械は、RF （Radiofrequency）、紫外線（UV）、直流（DC）プラズマ源など、さまざまなプラズマ源を簡単に統合して、幅広いエッチング機能を提供することができます。最適化されたロードロッキングツールにより、プロセスの多様性がさらに向上し、基板交換と再現性の高い結果が得られます。PLASMATHERM/UNAXIS 790には、エッチングおよび成膜レシピも豊富に用意されているため、特定の用途に合わせてエッチングパラメータを簡単にカスタマイズできます。このアセットには、過温度や過圧保護などの高度な安全機能が組み込まれており、モデルが常に効率的かつ安全に動作していることを保証します。装置はエッチングされた区域の中の優秀な均等性の長期安定したエッチングのために設計されています。さらに、UNAXIS 790にはユーザーフレンドリーな統合データロギングシステムが付属しており、エッチング結果を簡単に監視できます。全体として、PLASMATHERM 790は、信頼性、正確性、費用対効果の高いエッチングおよびアッシング結果を必要とするラボにとって理想的なエッチングユニットです。高度の設計特徴、容易なセットアップおよび操作および優秀な反復性および安全の機械の組合せは、それをあらゆる実験室のための完全な選択にします。