中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 #9116459 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790は、高解像度MEMS部品の製造に特化したプラズマエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、エッチングとアッシングの最高品質を保証するクローズドループユニットを備えており、その結果、正確な形状と非常に小さな機能を備えています。エッチャーには多軸ウェーハ転送機があり、エッチング/アッシュされるウェーハの正確な取り扱いと位置決めを可能にします。また、ウェーハの効率的かつヒューマンフリーのローディングと最終製品のアンロードのためのロボット転送ツールを備えています。このエッチング資産は、標準のIntelliFlowおよびソフトウェアプロセスコントロールモデルを使用しており、エッチングとアッシング時間を簡単かつ正確に制御できます。磁気的に強化されたRFエネルギー源は、いくつかの異なるパワーレベルを提供し、ウェーハ上に異なるエッチングプロファイルを作成する際に非常に効率的です。機器はまた、エッチングとアッシングの異なるプロファイルを作成するために調整することができます。UNAXIS 790は、特許技術を使用して、強力な排気フローと最適化されたプロセススループットの排気システムを作成します。エッチング/アッシュされるウェーハは、75〜2。75トーラー範囲で低圧と高温の真空チャンバーに入れられます。磁気的に強化されたRF源は、その後、ウェーハをエッチングして灰にし続ける高エネルギッシュなプラズマを作成する責任があります。エッチングされた材料を収集し、転送されます。このユニットは、乾式および湿式プロセス、ハードマスク互換性、可変圧力能力、精密ウェハハンドリング、および複数のプロセス制御機能など、さまざまな機能を提供します。これにより、高解像度のMEMS製品を製造するための高効率で信頼性の高いソリューションとなります。PLASMATHERM 790は、優れたプロセス再現性、均一性、および製品歩留まりを提供します。このツールは、大容量の生産環境にも適合するように設計されています。圧力、温度、電圧などのすべてのプロセスパラメータは、アセットによって自動的に監視および制御され、最高のプロセス品質を保証します。また、ウェーハの高精度エッチング/アッシングも可能です。