中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9359353 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズは、エッチングおよびアッシング用途向けの先進的な半導体加工装置です。このエッチャー/アッシャーシステムは、デュアル周波数マイクロ波プラズマ技術と高解像度温度制御を組み合わせて、最適なエッチングとアッシング性能を実現します。UNAXIS etcher/asherは、エッチングとアッシングの両方のためのバッチ処理と単一のウエハプロセスの両方をサポートしているため、ユーザーはエッチングとアッシングのプロセスをすばやく切り替えることができます。ユニットは、最適なエッチングとアッシング性能を確保するために、高度な圧力制御機で設計されています。このツールは、高精度を維持するだけでなく、プロセス制御と再現性を提供します。PLASMATHERMエッチャー/アッシャーは、エッチング/アッシングプロセスを最適化するために、ユーザーがチャンバーの圧力と温度を効果的に制御できるように、強力な不活性ガスポンプ資産を備えています。このモデルはまた、バックグラウンドガスのビルドアップを最小限に抑えることにより、プロセスのパフォーマンスを向上させるのに役立ちます。この装置には、エッチャー/アッシャー内の正確に制御された環境を維持し、エッチングおよびアッシング性能を向上させるための温度コントローラも装備されています。PLASMATHERM/UNAXIS etcher/asherは、カスタマイズ可能なエンドポイント制御（EPC）用に設計されており、エッチングおよびアッシングプロセスごとに正確な結果を保証します。EPCを使用すると、エッチング時間や温度、各プロセスのパワーレベルなどのパラメータを設定できます。これにより、エッチングおよびアッシング性能の制御が向上し、プロセスの再現性が向上します。UNAXIS etcher/asherには、人員の安全を確保するためのインターロックシステム、ユニットの不正な動作を防ぐためのドアロックアウトなどの高度な安全機能も付属しています。この機械は、事故やプロセス性能の低下から保護するために、半導体業界の最高水準の安全性を満たすように設計されています。全体的に、UNAXIS 790シリーズは、高性能エッチングとアッシングの結果を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーツールです。このアセットは、正確で再現性のある結果、幅広いエンドポイント制御機能、高度な安全機能を提供するように設計されており、生産および研究ベースの処理の両方に最適です。