中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #9225839 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790プラズマエッチャー/アッシャーのシリーズは、半導体製造の要求に応えるように設計されています。アプリケーションスペシフィック集積回路（ASIC）集積回路（IC）アプリケーションで高精度プラズマエッチングとアッシングを実現する実績があります。UNAXIS 790シリーズは、独自の均一なプラズマ分配技術を採用した低歪み設計です。これにより、最も困難なフォームファクタやアプリケーションでも、高いエッチングとアッシング精度が保証されます。PLASMATHERM 790シリーズは、ステンレス鋼で構成され、クリーンな操作と高精度エッチングのための業界をリードする技術を特長としています。高効率ICP電源、高度な冷却装置、および独立したガス供給システムは、エッチング要件に堅牢で信頼性の高いプラットフォームを提供します。790シリーズは、高精度ウエハ検査用のハイエンドカメラと、使いやすさとエッチング工程のさらなる向上を目的としたタッチコントロールパネルインターフェースを搭載しています。調節可能な光学システムは、高解像度のイメージングと相まって、あらゆるフォームファクタおよびアプリケーションの高精度エッチングツールを可能にします。PLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズは、反応性イオンエッチング、酸化物エッチング、化学など、さまざまなアプリケーションとエッチングのオプションを備えています。酸化エッチングは、エッチングパターンの精密な制御を可能にする、層特有のエッチングに酸化物の層を使用しています。UNAXIS 790シリーズのチェムエッチング機能は、高スループットエッチングに使用され、正確な結果を得るために迅速に動作します。PLASMATHERM 790シリーズはまた、プロセスおよびツールの監視機能を可能にし、トラブルシューティングとパフォーマンス評価を可能にします。これにより、プロセス内モニタリングとエンドプロセス評価の両方に、使いやすく信頼性の高いプラットフォームが提供されます。チャンバー圧力、ガス流量、RF電力、エッチング/灰レートなどの側面を監視する機能により、ユーザーは一貫した高品質のエッチング結果を保証できます。790シリーズは、圧力制御、温度調整、チャンバーのパージなど、正確なエッチング処理を維持するための多くの追加機能を提供します。圧力制御により、チャンバー内の一貫した雰囲気が保証され、温度調節により最適なエッチングとアッシング性能が保証されます。チャンバーのパージ機能は、不要な粒子や材料を除去することにより、チャンバーを清潔に保つのに役立ちます。最後に、PLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズには、潜在的な危険性を監視し、事故や損傷のリスクを低減する高度な安全ユニットも含まれています。UNAXIS 790シリーズは、さまざまな半導体アプリケーションのエッチングとアッシングに信頼性の高いプラットフォームを提供します。低歪み設計、ICP電源、高度な冷却およびガス供給システム、およびさまざまなエッチングおよびモニタリング機能が連携して、正確な効果と一貫した結果を達成します。品質保証と安全性を考慮して、エッチングのニーズに信頼できる機械を提供します。