中古 PLASMATHERM / UNAXIS 790 Series #293695530 を販売中

PLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズは、集積回路のバッチ処理用に設計された最先端のプラズマベースのエッチャー/アッシャーです。UNAXIS 790シリーズは、自動車、ディスプレイ、産業制御、医療、3D印刷、家電などの幅広い産業向けに、マイクロストラクチャーや薄膜材料をエッチングするための優れたサイクルタイム最適化された生産能力を提供するように設計されています。PLASMATHERM 790シリーズは、93 cm x 61 cmの大きなチャンバーサイズを誇り、最大4つの基板を8インチまで収納できます。790シリーズの柔軟性により、エッチャーは、アルミニウム、銅、ガリウムヒ素、ポリイミド、ポリシリコン、シリコンなど、いくつかの金属、半導体、およびポリマーからの幅広い材料を処理するために使用することができます。790は厚さ1mmから50micronsの間の基質を処理することができます。基板を迅速に交換するためのロードロック装置と、複数の基板に対して均一なエッチング処理を実現するように設計された基板テーブルを備えたPLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズは、拡張機能と高速エッチング速度を提供します。UNAXIS 790シリーズは、最大150個のエッチングレシピを処理して、エッチング、アッシング、ストリッピングの広範な機能をユーザーに提供し、エッチングレシピ間の汚染レベルを低減する自動内壁クリーニングシステムを提供します。PLASMATHERM 790シリーズが提供する優れた制御と精度は、操作者が圧力、室温、RF電力、およびリアルタイムのプロセスレシピ制御を測定するための高精度ゲージを使用して、リアルタイムでエッチングプロセスを監視することができるユーザーフレンドリーなインターフェイスによって可能になります。790シリーズにまた粒子の汚染を減らし、一貫した、信頼できる結果を保障する高度の絶縁材の制御装置があります。PLASMATHERM/UNAXIS 790シリーズのメンテナンス要件は、最大のろ過効率を確保するためにサプリメント避難ポンプを備えた高性能のろ過ツールで設計されているため、最小限です。UNAXIS 790シリーズは、誤動作を検知できる精密な安全資産により、エッチングプロセスを安全かつ信頼性の高い状態に保ちます。PLASMATHERM 790シリーズは、豊富な機能、優れた品質結果、生産ニーズに迅速なサイクルタイムを提供する次世代エッチングモデルです。最新のプラズマ技術を使用することにより、790はプロセス制御と柔軟性を向上させ、メンテナンス要件を低く維持しながら、幅広い業界で比類のないエッチングソリューションを提供します。