中古 PLASMATHERM / UNAXIS 7000 (EMS) #9258753 を販売中

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ID: 9258753
ヴィンテージ: 1994
Reactive Ion Etch (RIE) system 1994 vintage.
UNAXIS 7000 (EMS)は半導体産業の薄膜製造に使用される高度なエッチャーおよびアッシャーです。業界をリードする最大スループット・パフォーマンスを提供し、最大効率を実現します。PLASMATHERM 7000のエッチングおよびアッシング処理は高精度で一貫しているため、電子部品の製造に最適です。パワフルな真空エッチングチャンバーと、素材をすばやくクリーンにアッシングするための加熱コイルを組み合わせることで、高い性能を発揮します。デュアルプロセスETCH -ASH装置は、高度なプロセス制御機能を提供し、精度と精度のための高度な技術測定の様々な機能を備えています。圧力制御は精密で、システムが均一な結果を出すことができます。このプロセスは、対象製品の要件に応じて個々のレシピにプログラムすることができます。このユニットの高性能機能、耐久性のある冶金、および効率的な熱管理マシンはまた、長期的な使用のためにそれを信頼できるようにします。PLASMATHERM/UNAXIS 7000 (EMS)は、高精度で正確なモーションコントロールのための高度なロボティクスも備えています。このツールには、レシピをカスタマイズして最高のスループットで最高品質の結果を出すための複数のロボットスロットがあります。このアセットには、部品を自動的に検出してプロセスをより良く制御できる統合ビジョンモデルもあります。エッチング性能の制御を容易にするために、高度なガス供給システムが使用されています。この装置は特定のプロセスのためのガスの異なった流れを提供するように設計されています。また、プラズマプロセスを制御するための3面RFジェネレータと、オペレータの利便性のための遠隔診断パネルを備えています。システムには、メンテナンスまたは修理が必要なときにオペレータに警告する通知ユニットが装備されています。安全性もこの機械の設計に組み込まれています。このツールには、不正アクセスを防ぐための安全インターロックがあります。また、オペレータの放射線安全と保護を確保するためのRFシールディングを備えています。このアセットは、可動部品の最小化と低消費電力で、コンパクトでクリーンに設計されています。全体として、UNAXIS 7000 (EMS)は、高度な性能、精度、および制御機能を提供する強力なエッチャーおよびアッシャーです。高度な機能と自動化されたプロセスにより、非常に効率的で信頼性が高くなりますが、安全機能によりオペレータは適切に保護されます。精密なエッチングとアッシングを必要とする電子部品の製造に適しています。
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