中古 PLASMATHERM / UNAXIS 700 #9096334 を販売中

ID: 9096334
Reactive Ion Etcher (RIE) Pressure controller: PRM-1 RF generator supply: HFS 500 Mass flow control: MFC-5 Available options: LH D60 WS/WA 251 Blower 179 CFM blower package Vacuum hose and fittings.
PLASMATHERM/UNAXIS 700は、非常に精密で高度なエッチングおよびアッシング操作が可能な高度なエッチャー/アッシャー装置です。金属、高分子、有機材料を酸素、アルゴン、窒素および塩素化炭化水素のプラズマにさらすことによって機能し、材料を急速にエッチングして灰にする反応種を作り出します。このシステムは、単軸、インタラクティブ、多軸モーションシステムなどのさまざまなプロセスツールを使用して、精密なエッチングとアッシングのための高精度の多軸制御を採用しています。このデバイスには、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)とユーザーインターフェースコントロールパネルが装備されており、エッチングとアッシングパラメータのプログラミングとカスタマイズを可能にし、複雑な工業生産プロセスでデバイスを使用します。PLCはユーザーが簡単にアクセスでき、プロセスデータのカスタマイズされたプログラミング、診断、および表示が可能です。ユーザーインターフェイスには、手動および半自動の設定がプリロードされており、複数のパラメータを簡単に設定できる自動シーケンス機能も含まれています。このユニットはオープンアーキテクチャのハードウェアとソフトウェアプラットフォーム上に構築されており、お客様のニーズに合わせてプロセスの柔軟性と機能を提供します。オープンアーキテクチャにより、高速プロセス制御、自動化された診断、製造インテリジェンス機能など、最新のテクノロジーを統合できます。アーキテクチャには、エッチャー/アッシャー操作をサポートする強力でスケーラブルなコンポーネントベースのソフトウェアスイートも含まれています。UNAXIS 700には、トライボエレクトリックマスクを使用してプラズマの流れを指示する高度な2段エッチング/アッシュマシンが付属しており、微細なスケールで精密なエッチングとアッシングが可能です。2段階のツールを使用すると、プリエッチング、エッチング、アッシングなどの各プロセスステップを個別設定で実行でき、正確かつ正確な結果が得られます。さらに、PLASMATHERM 700は、安全で信頼性の高い動作と優れた品質管理を保証するための高度な保護システムを提供しています。これには革新的なセルフクリーニングメカニズムが含まれ、チャンバー内の微粒子の蓄積を排除し、汚染を防ぎます。さらに高品質のために、このデバイスはインerting機能を備えており、エッチング/アッシュチャンバーから空気を排除して純粋な結果を得ることができます。全体として、700は強力で高度なエッチャー/アッシャー資産で、あらゆる産業用エッチングまたはアッシングのニーズに対応する柔軟性と精度を提供します。オープンアーキテクチャ、プログラマブルロジックコントローラ、2段階のエッチング/アッシュモデル、高度な保護システムの組み合わせにより、ジョブにとって信頼性が高く効率的なツールです。
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