中古 PLASMATHERM / UNAXIS 700 Series #9201877 を販売中

ID: 9201877
Wafer batch plasma etcher deposition.
PLASMATHERM/UNAXIS 700シリーズは精密な制御の電気、機械および電子部品の変化を作成するように設計されているエッチャーおよびasher装置です。銅、タングステン、チタンなどの先端材料のエッチングに最適化されています。VPP (Vacuum Pressure Pulsing)エッチング技術を活用し、高いエッチング効率を実現し、高品質な結果を提供します。UNAXIS 700シリーズは電子部品の生産または研究開発のための有効な解決であるように設計されています。このユニットは、所定の実行時間、温度、圧力、およびガスの種類に基づいて標準的なプロセス制御機能を提供します。これは、プロセスのセットアップと監視に役立つ使いやすいユーザーインターフェイスを備えています。また、マルチファンクションプロセスモニタを備えており、関連するすべてのデータをリアルタイムで表示し、実行中にパラメータを調整できます。また、プロセスレシピも含まれており、正確な制御のためにすべてのパラメータを同時に簡単に調整できます。このツールは、個々のレシピを選択するための手動制御と、さまざまなプリセットプログラムを備えており、さまざまな結果を持つ複数のコンポーネントのエッチングを可能にします。自動レシピ最適化(ARO)機能は、効率を最大化するためにエッチング時間を短縮するのに役立ちます。また、製品の品質を向上させるために、各レシピに最適なパラメータを選択するのに役立ちます。ガスブレンド管理(GBM)機能により、エッチングチャンバーへの正確なガス供給が保証され、一貫した高品質の結果が得られます。PLASMATHERM 700シリーズは信頼できる、信頼できる操作のために設計されています。この資産は、ISO 9001:2015規格に準拠して設計されており、CE、 UL、 CSAなどのさまざまな安全ガイドラインおよび承認基準を満たしています。このモデルは、クリーンチャンバー動作を確実にするための強力な真空ポンプと、敏感な部品を保護する高度な熱管理技術を備えています。また、この機器は、シンプルなメンテナンスプロトコルと、ラボまたは生産環境内での配置を容易にするための小規模なフットプリントを備え、TCO(総所有コスト)を低減するように設計されています。700シリーズは、高度な電子部品の製造と研究のための効率的で汎用性の高いエッチングとアッシングシステムをユーザーに提供します。強力な制御機能、使いやすいユーザーインターフェイス、および精密な操作のための高度なプロセスレシピを備えています。メンテナンスを最小限に抑え、設置面積を小さくすることで、信頼性の高い結果を費用対効果の高い方法で提供するように設計されています。
まだレビューはありません