中古 PLASMATHERM SLR 770B #9302637 を販売中
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ID: 9302637
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 1998
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE), 4"
With 6" kit
Etching silicon uses photoresist mask
Gasses:
Argon for plasma
Sulfur Hexafluoride (SF6) for Silicon etching
Octafluorocyclobutane (C4F8) for passivation layer
Oxygen (O2) for chamber clean
Nitrogen (N2) for venting
1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 770Bは、単一のプラットフォームでエッチングとアッシングの両方のプロセスを組み合わせたユニークなエッチングおよびアッシャー装置です。このシステムは、独自のプラズマサームプロLift™技術を使用して、高い精度と再現性を実現し、大幅なコスト削減を実現します。RFおよびDCプラズマエッチングおよびアッシングプロセスの両方を利用することにより、このユニットはさまざまなエッチングおよびアッシングアプリケーションに最適です。一例として、この技術は、不均一なマスクを通してエッチプロファイルを制御するために使用されます。標準のSLR 770Bマシンは、オンボードのウェットエッチングとアッシングプロセスを可能にするオープンロード位置機能を提供します。このツールは、金属またはプラスチックベースの材料からの基板の広い範囲を収容することができます。また、高度なシャッターとリフトアセットで設計されており、均一なエッチング深度、プロファイル制御、再現性を促進する最適なエッチングウィンドウを提供します。さらに、プラズマエッチングおよびアッシングプロセス中の汚染と酸化物を低減する窒素供給も含まれています。この装置のダイレクトドライブコンベアシステムは、安定したカスタマイズ可能なエッチングとアッシング速度を提供し、最大限の安全性と効率を実現します。PLASMATHERM SLR 770Bの温度制御機能は、あらゆる粒子汚染から解放された、効率的で高品質で安全なエッチングとアッシングプロセスを保証します。また、シャトルプレート、台座、リフト、マスクなど幅広いアクセサリーを取り揃えており、エッチングやアッシングのニーズにも対応しています。SLR 770Bは、幅広い生産要件を満たすように設計されています。窒化エッチング、深部ケイ素の溝のエッチング、または高解像度の小さな特徴のエッチング、有機残留物や金属のアッシングを実行する機能を提供します。このマシンはまた、クリーンルームの安全な操作とともに、より速いターン時間と安全な再現性を提供します。Pro- Lift™ウィンドウ技術は、均一性と優れた断熱性を促進し、プロセスの再現性と品質をさらに向上させます。PLASMATHERM SLR 770Bは、5〜500 mmの寸法の基板から高精度システムのエッチングまたはアッシングに最適です。その幅広い安全機能は、安全で信頼性の高い操作を提供します。このツールはISO 9001認証を取得しており、一貫した高品質のエッチングとアッシングの結果を必要とする人に最適です。競争力のある価格設定により、SLR 770Bはエッチングとアッシャー資産を必要とする人々にとって理想的な投資です。
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