中古 PLASMATHERM SLR 770 #9280190 を販売中

PLASMATHERM SLR 770は、精密エッチングおよびアッシングのために半導体業界で使用されるように設計された最先端のドライエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、パルスグロー放電（PGD）技術に基づいており、信頼性と再現性の高いエッチングパラメータを提供するように設計されています。ウエハエッチング、金属エッチング、絶縁エッチング、ウェットエッチングなど、さまざまなガス混合物を使用した幅広いエッチングおよびアッシング用途に使用できるように開発されています。このマシンは、強力な13。56 MHz RF電源、統合温度コントローラ、および複数の最大を備えています。80 Wガスガンにより、さまざまなエッチングおよびアッシング用途のさまざまなプロセスガスに適しています。このツールのプロセスガス資産は、精密なプロセス制御のために多数の混合ガスの組み合わせを注入することができます。このモデルは、窒素、酸素、水素、アルゴン、FREA3、クロロフルオロカーボン、または他のタイプの不活性ガスに適した最大5つの独立したガス流量コントローラとともに、最大8つのシーケンシャルプロセス手順をサポートできます。最大8つの組み合わせをサポートすることで、多くのエッチングおよびアッシング用途に最適化されたプロセスパラメータを簡単に作成できます。SLR 770は24時間365日のメンテナンスフリーで、ダウンタイムやメンテナンス間隔の延長を排除します。また、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、レシピとランタイムの管理、統計プロセス制御（SPC）、プロセスパラメータの可視化など、エッチングとアッシングプロセスの包括的な制御システムをユーザーに提供します。PLASMATHERM SLR 770の中核には、SLR-20Xの先進的な真空パッケージがあります。この先進的な真空パッケージは、最大III〜IVグレードの真空を備え、クリーンエッチング環境を実現するように設計されています。SLR-20Xパッケージには、材料の蓄積を防ぐためのフラットトップチャンバーと、正確で繰り返し可能なエッチング結果を保証し、エッチング時間を短縮する一定のRFマッチングネットワークを備えています。SLR 770は、エッチングおよびアッシング用途に最適です。この高度なユニットは使いやすく、多くの種類のエッチングおよびアッシング用途に信頼性の高い反復可能なプロセスパラメータを提供します。強力なRF電源、統合された温度調節器および多数の最高。80 Wのガスガンのような高度の特徴によって、ユーザーはエッチングおよびashingプロセスのためのそれに完全な選択をするエッチングの正確さおよび反復性の最高を提供する機械があることを確かめることができます。