中古 PLASMATHERM SLR 770 #293663077 を販売中

PLASMATHERM SLR 770は、優れた制御、精度、および信頼性を提供する高性能ドライエッチャーおよびアッシャーです。この最先端の機器は、業界最高のエッチング率を達成するために構築された数多くの独自の機能で設計されています。半導体、MEMS部品、薄膜層、その他多くの微細加工プロセスの製造に最適です。この機械は、密閉された処理室、真空ポンプ、制御システム、およびロードロックシステムで構成されています。プラズマ作動ガスと反応ガスの両方をエッチングとアッシングのプロセスに使用し、3つの異なるガス混合物をサイクルする能力を備えた高度に調整可能です。オンボードソフトウェアは、正確なエッチングに必要な精度を提供し、優れたオペレータインターフェースを提供します。SLR 770は、生産に理想的なエッチャーとアッシャーになるいくつかの機能を備えています。これは、プロセスを監視するために複数の視野角を可能にするダブルエンドアイで構築されています。さらに、ユニットは完全に自動化されており、一貫した動作と最大の効率を確保します。これはさらに、オペレータがチャンバーを開けずにプロセスを表示できる光学ウィンドウによって補完されます。また、エッチングプロセスの均一性と制御を維持することができる高度な光学マシンを備えています。これには、エッチングプラズマを正確にフォーカスしてプロセスを監視するために使用できる一連のレーザーが含まれます。また、エッチング結果をさらに最適化するための正確な圧力レギュレーションも提供します。PLASMATHERM SLR 770には、チャンバーの開閉を防ぐ自動インターロックなど、さまざまな安全機能が搭載されています。このツールはCEによって認定されており、RoHSとWEEEに準拠しています。PLASMATHERMの安全性へのコミットメントは、予期せぬ火災や爆発の場合にCO2の消火資産にさらに拡張されます。最高レベルの性能と品質を確実に達成するために、SLR 770は独立したラボによって定期的にテストされ、コンプライアンスに従って動作していることを確認します。高度な産業グレードの設計により、PLASMATHERM SLR 770ドライエッチャーとアッシャーは、生産プロセスで最適な部品エッチングとアッシングを保証するための完璧なツールです。