中古 PLASMATHERM SLR 770 ICP #293763388 を販売中
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PLASMATHERM SLR 770は、精密エッチングとアッシングのために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。最高レベルの精度とプロセス制御を備えた卓越した性能を提供し、困難な微生物プロセスをより簡単に完了させることができます。装置は極めて複雑な細部に対応するように設計されており、最先端のエッチャー/アッシャー技術でのみ達成可能な非常に細かいライン寸法を製造することができます。770は、最大20kWの電力を供給できる「有能な」RFジェネレータを備えています。この発電機には高度な位相制御技術が搭載されており、RF発電機は部品や材料の精密なエッチングまたはアッシングのための正確な電力制御を提供することができます。高度な発電機により、SLR 770は、従来のエッチャーアッシャーでは不可能なミクロンレベルの精度を達成できます。PLASMATHERM SLR 770は、高効率のマルチガスデリバリーシステムを備えており、特定のガス混合物を直接制御して最適な性能を発揮します。アプリケーションに応じて、ユーザーは簡単に望ましいエッチングやアッシング効果を達成するために、ガスアーキテクチャから様々なガスを混合することができます。個々のガスの効果的な解放率は、温度、圧力、ガスの種類などの複数のパラメータでさらに調整可能です。SLR 770は、精度や品質を損なうことなく、精密なエッチング/アッシングを可能にする高解像度イメージングユニットを誇っています。このマシンは、最高2560x2560解像度の画像を持つCMOSカメラを使用して、すべてのマイクロ機能を非常に高精度で検出します。これにより、よりタイトなジオメトリまたは複合体の機能に限定されたエッチングまたはアッシングの高い精度が得られます。PLASMATHERM SLR 770は、ツールのプロセスパラメータへの迅速なアクセスと変更を可能にする堅牢なコントロールパネルでも設計されています。また、コントロールパネルを使用すると、資産のパフォーマンスをいつでも監視および調整することができ、エッチングまたはアッシングの不良のリスクを低減できます。全体的に、SLR 770は、比類のない精度で複雑な機能を生成するように設計された高性能で汎用性の高いエッチアッシャーです。そのマルチガス配信モデル、有能なRFジェネレータと高度なイメージング機器は、ユーザーに信じられないほどの速度でマイクロスケール機能を生産する能力を提供します、厳しい基準に。
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