中古 PLASMATHERM SLR 770 ECR #293605777 を販売中

PLASMATHERM SLR 770 ECRは、プロセスツールとシステムソリューションの業界をリードするプロバイダーであるPLASMATECHによって製造された最先端のエッチャー/エイサーです。この先進的な装置は、イオン化ガス（プラズマ）を使用して、さまざまな材料をエッチング、クリーン、ケアします。これには、ガラス、セラミックス、プラスチック、金属、半導体材料が含まれます。PLASMAHERM SLR 770 ECRは、多くの技術進歩に満ちた機能です。エッチング/アッシング工程をコンパクトな1台で組み合わせることで、高速かつ効率的なウェーハ加工が可能です。また、エッチングチャンバーへの迅速なアクセスのためのロードロックと、より高いスループットを実現する内蔵の真空システムを備えています。さらに、SLR 770はオペレータのための容易なアクセスのためのリモート・コントロール操作のために設計されています。エッチャー/aserには、RFおよび温度解析を使用する診断機能と、プロセスを最適化するための高度な温度マッピングが統合されています。さらに、このデバイスは、エッチング品質と均一性を最大化する高度なレシピシステムを備えており、ユーザーフレンドリーなコントロールと簡単なナビゲーションを誇っています。PLASMAHERM PLASMATHERM SLR 770 ECRの柔軟性はまた、材料に応じて特定のエッチレシピの範囲を可能にします。これは、電流と電圧、電圧ブレンド、プリチューンサイクル、プラズマソースなどの手動ガス供給とその調整可能なプロセスパラメータを使用して便利に実現できます。etcher/aserは、非常に高解像度のLCDモニターと、操作を簡素化する視覚的なフィードバックを提供する直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。また、統合されたヒーター、ガスフロー制御、自動校正、および遠隔診断および制御機能を備えており、信頼性とプロセスセキュリティを向上させます。このデバイスには、ESD保護やVacuum Overpressure Limitingなどの統合安全機能も搭載されています。PLASMAHERM SLR 770 ECRにはモジュール式の設計もあり、既存のエッチングシステムとの統合と使用が容易になります。また、非常に競争力のあるコストもあり、エッチングプロセスを向上させたい組織に最適です。