中古 PLASMATHERM SLR 740 / 720 #293605243 を販売中

ID: 293605243
ヴィンテージ: 1999
Reactive Ion Etcher (RIE) 1999 vintage.
PLASMATHERM SLR 740/720は、ナノスケール材料の高精度エレクトロエッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この高度なプロセス技術により、選択的な材料除去のためのエッチングおよびアッシングパラメータの最適化された制御が可能になります。機械の統合された検出装置は精密で、反復可能な操作を保障し、さまざまな製作および研究の必要性のための理想的な解決を提供します。SLR 740/720は、シンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスを介してエッチングとアッシングパラメータをユーザーフレンドリーに制御します。ユーザーは容易にサンプルプロファイル、均一性、側面のエッチングおよび異方性の点で望ましい結果を満たすためにエッチングおよびashingプロセスパラメータを調節できます。このシステムは、複数のエッチングおよびアッシング処理を1回の実行で実行できるため、研究目的に最適です。統合されたセンシングユニットは、エッチングおよびアッシング処理の正確な制御とエッチング速度の正確な監視を可能にします。エッチング工程では、エッチング率をリアルタイムで測定し、ユーザーはリアルタイムでエッチング工程を調整することができます。エッチング工程は、気流ガードによって環境の小さな変化から保護され、詰まり、ほこり、その他の汚染物質がプロセスチャンバーに侵入するのを防ぎます。PLASMATHERM SLR 740/720は、ナノスケール材料のエッチングおよびアッシングにおいて優れた選択性を達成することができる、高出力、中周波容量連結源を備えています。これにより、目的のプロファイル、均一性、異方性がサンプルで達成されることが保証されます。このマシンは自己完結型で、内蔵の真空チャンバー、内蔵の電動ウェーハ回転、専用サポートマシンなどの機能が含まれています。このマシンには、連動ツール、ガス安全シャットオフ、緊急電源オフ、不正アクセスを防ぐためのキーロックなどの高度な安全機能も含まれています。機械のすべての主要な部品は良質および信頼性の標準と設計され、耐久性および優秀な性能を保障します。この機械は包括的なカスタマーサービスとサポートネットワークによって支えられており、ラボや研究施設に最適です。
まだレビューはありません