中古 PLASMATHERM SLR 730 #9124186 を販売中

PLASMATHERM SLR 730は、金属層のエッチングと除去のための高精度でプログラム可能なRFアンダーエッチングアッシャー/エッチング装置です。その機能は次のとおりです。金、銅、アルミニウム層のエッチング。金、銅およびアルミニウム層の抵抗パターンのエッチング；フォトレジスト層のアッシング；温度調節のためのashingおよび自動上の援助前の溶媒の適用。このシステムの特長は、RF電力の効率的な使用と短いパルス持続時間の可用性により、サンプルを迅速に処理するように設計されていることです。PLASMATHERM SLR-730の基本ユニットは、プラズマ発生器、ベベルマスクチャック、ジェットおよびチャンバーで構成されています。プラズマ発電機は、RFエネルギーを提供し、エッチングとアッシング中にフォトレジスト層をエッチングまたは除去するために必要な電力を提供します。ベベルマスクロックは、サンプルの信頼性の高い真空封じ込めのためにも含まれています。SLR 730はまた、エッチングと灰の時間だけでなく、電力と溶媒レベルのプログラミングを可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスを持っています。SLR-730のエッチング速度は1。5〜4。5 μ m/min、アルミニウムのエッチング速度は0。75〜10。0 μ m/minです。それに25-250°Cの部屋の温度較差および1-100ワットの力の範囲があります。さらに、このユニットは、真空または最大10 torrの圧力のいずれかの選択可能な大気環境を備えています。パルス持続時間が一貫しているため、サイドウォールエッチングの予測性に優れ、繰り返し可能な結果を提供します。機械はまた異なったエッチングまたは灰の調理法のために必要に応じてセットポイントを調節するのを助ける自動助力の温度調整を提供します。PLASMATHERM SLR 730には、ユーザーと環境の安全を保証するユニークな安全機能が多数あります。音響ノイズを最小限に抑えるノイズアブソーバと、音響レベルをリアルタイムで監視する音響エミッションツールを内蔵しています。etch/ashサイクル中に危険が発生する可能性があることをユーザーに通知する、細かいモニタリングアセットも利用できます。このモデルは、機械的故障や停電が発生した場合にも停止するように設計されています。これらの機能は、装置の性能と組み合わされて、実験室、研究および生産設備のための優れた選択肢となります。