中古 PLASMATHERM SLR 730 #9123961 を販売中

ID: 9123961
ヴィンテージ: 1997
PECVD System, 2"- 8" Shuttle lock load lock loading system Platen transfer Model 700 Al chamber Top electrode: 13" Heater: Watlow 250ºC RF Power supply: RFSS with AM5 matching network (8) MFC's: MKS 1179: N20, N2, NH3, N2, SF6, Silane 2% in He, Silane 1.9% in He Chiller: Neslab HX 75 OS: Plasmatherm windows 208V, 3 phase, 60A 1997 vintage.
PLASMATHERM SLR 730は、精密表面微細加工に使用される最先端のエッチャーおよびアッシャーです。高速マルチビームエキシマレーザー技術により、優れた均一性と再現性を提供します。適用範囲が広く、密集したおよびモジュール設計によって、それはいろいろな工程のために非常に便利です。PLASMATHERM SLR-730は、動作温度範囲が-20°C〜+55°C、周波数範囲が0〜20MHz、電源範囲が0〜1.5kWです。そのシングルロッドスキャナ装置は、ワークが均一で正確かつ正確な結果でコーティングされていることを保証します。さらに、故障が発生した場合にシステムを無効にする自己保護機能が内蔵されています。SLR 730にはいくつかのユニークな機能と利点があり、他のエッチャーやアッシャーと比較して優れた結果を出すことができます。ダイレクトインジェクトレーザーチャンバーを備えており、エッチング、クリア、アブレーションが容易になり、様々な材料を加工する際に高精度な回転ワークスペースを提供します。さらに、ロードロックユニットは、チャンバーを清潔に保ち、チップ製造時に中断のない連続運転を可能にするため、運転中の安全性と利便性が向上します。SLR-730は0。3%の非常に低い残留損失を達成し、非常に低温処理をサポートし、ユーザーにボリュームと結果の品質の面で高い歩留まりとパフォーマンスを提供します。さらに、最大500個の個々の基板を1つの均一な実行で同時に処理できるため、その大容量は従来のバッチ処理を時代遅れにします。ユーザーの利便性を最大限に高めるために、PLASMATHERM SLR 730は使いやすいHMI (human-machine interface)を備えており、操作が容易です。直感的なユーザーガイダンスマシンを備えており、経験のないオペレータでも使用できます。さらに、メンテナンスサイクルが容易であるため、長期にわたるパフォーマンスが可能になり、運用コストが低くなり、価値が向上します。PLASMATHERM SLR-730は真に最先端のエッチャーとアッシャーであり、さまざまなプロセスで優れた性能と精度を提供する幅広い機能、利点、利点を備えています。その一貫した結果とユーザーフレンドリーな構造は、信頼性の高い最先端の微細加工ソリューションを求める確立されたビジネスと新しいビジネスの両方にとって理想的な選択肢です。
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