中古 PLASMATHERM SLR 720 #9382253 を販売中

PLASMATHERM SLR 720は、超薄型ろ過成分、ナノロボティクス、MEMS/NEMSデバイス、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品を製造するために特別に設計された高精度の多段プラズマエッチャー/アッシャーです。この機械は、4つの異なるチャンバー（プロセス、プリクリーン、ロードロック、およびエッチング/灰）を互いに接続して、きれいな液体、ガス、または窒素で精密なプラズマエッチング/灰の処理を提供します。プロセスチャンバーは、エッチャー/アッシャー内のメインチャンバーであり、プラズマ源、RFおよびDC電源、およびウェーハ安全センサが含まれています。また、優れた制御のための高度なプラズマセンサーとエッチング速度測定システムを備えています。プレクリーンチャンバーは、エッチングまたはアッシングの前にクリーニングと脱気のための高圧、周囲温度、および低湿度プロセスガスを備えた専用チャンバーです。また、ウェーハの正確な向きも可能です。ロードロックチャンバーは、プロセスチャンバーの清浄度をさらに向上させ、プロセスチャンバーに超高真空環境を提供することにより、高品質のエッチング/アッシングプロセスを提供します。エッチング/アッシュチャンバーは機械全体の最後の段階であり、特定のエッチング/アッシングプロセスに合わせて調整されたさまざまなプロセスガスが含まれています。ガス源には、通常、CF4、 CHF3、 CF3Brなどのフッ素系プラズマガスや、酸素などの不活性ガスが含まれます。生産歩留まりと最終品質は、圧力、流量、温度、ガスの種類、基板温度などのすべてのプロセスパラメータを正確に制御することによって最適化されます。SLR 720のその他の機能とプロセスオプションには、自動厚み測定、オンボードコンピュータ制御、手動プロセス制御、調整可能な検出および誘電エッチング窓、LCDタッチスクリーンインターフェイス、中央データ収集/アーカイブコンソール、アクティブウェハモニタリング、エッチレートのリアルタイム表示、欠陥のないウエハハハハハンドリング、自動的なプロセスの完全な統合。これらの機能と高度なプラズマエッチング/アッシュプロセスを組み合わせることで、PLASMATHERM SLR 720は、超薄型ろ過成分、ナノロボティクス、MEMS/NEMSデバイス、およびその他の高度なマイクロエレクトロニクス部品を最高品質で製造するための理想的なツールとなります。