中古 PLASMATHERM SLR 720 #9156982 を販売中
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ID: 9156982
ウェーハサイズ: 8"
Reactive ion etcher (RIE), 8"
Manual load lock
Advanced energy RFPP 5S RF Power supply
Match work and tuner
Leybold 361C turbo with NT20 controller
4 MFCs
11" Lower electrode
13" Shower head.
PLASMATHERM SLR 720は、PLASMATHERMの洗練されたエッチング/アッシャー技術です。CD、 IC、基板、その他多くの材料のエッチングとアッシングを成功させるために不可欠なさまざまな機能と機能を提供します。独自のPCワークステーション、高精度ポンプシステムと組み合わされた統合された16ガスアーセナル、人間工学に基づいたロボットアームを備えた、完全に内蔵されたエッチングおよびアッシング装置です。統合されたPCワークステーションは、オンラインでユニットのリモート操作と監視の両方をサポートする直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。統合された16ガス兵器庫には、酸素からシランまでの7種類のガスが含まれ、幅広い材料の最適なエッチングとアッシングを提供します。高精度ポンピングマシンは、ガスフローを正確に制御し、エッチングおよびアッシングプロセスの精度と再現性を確保します。ロボットアームはさらに、手の届きにくい部分の基板の正確で効率的なエッチングに役立ちます。SLR 720の強化されたハードウェアソフトウェア構成により、汎用性の高いエッチング機能を実現します。このツールは、リアルタイムパラメータ最適化、リアルタイムスキャン制御、深度制御およびプロファイル補正、またはこれらのプロセスの組み合わせなど、単一および複数のプロセスで複数の基板をエッチングするようにプログラムできます。さらに、PLASMATHERM SLR 720は、第2レベルの金属化の統合的なエッチングを可能にし、必要なプロセス時間を短縮します。PLASMATHERM価格モデルはスケールフレンドリーで、小規模および大規模エッチング産業に最適です。アセットはまた、強化された機械的および安全機能を提供します。内蔵の安全監視モデルは、機器と人を燃え尽きやオーバーフローから保護するのに役立ちます。さらに、システムには緊急シャットオフボタンが装備されており、即時シャットダウンを可能にし、潜在的な損傷を防ぎます。要するに、SLR 720は、人間工学に基づいた設計、高精度ポンピングマシン、直感的なPCワークステーション、16ガスアーセナル、拡張エッチング機能、および統合された安全機能を備えた堅牢で汎用性の高いエッチングおよびアッシングユニットです。CD、 IC、その他の基板アプリケーション向けに、費用対効果が高く、高効率なエッチングおよびアッシングソリューションを提供します。
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