中古 PLASMATHERM SLR 720 #9153540 を販売中

PLASMATHERM SLR 720は、高精度マイクロエレクトロニクスアプリケーションで使用するために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。PLASMATHERMが開発したこの技術は、物理的、化学的、機械的な処理を組み合わせ、表面品質、平坦性、永続的な清潔性を保証します。SLR 720は、2つの独立したプラズマ源を備えたシングルチャンバー装置です。最初のソースは、適切な材料除去のために柔軟な回転マグネトロンを使用しています。2番目のソースは、低圧多周波動作のために可変周波数ジェネレータ（VFG）を使用します。VFGと組み合わせた精密調整可能なRF電源により、プラズマ環境を正確に制御し、ユーザー定義のエッチング・レシピを可能にします。このエッチング処理は、直流（DC）ソースによって有効になり、電源と低周波信号のバイアスが結合されているため、所望の表面処理を迅速に適用できます。2つの独立したプラズマ源は、サンプル表面上の均一なイオン爆撃を維持し、一貫したプロセスウィンドウを作成するのに役立ちます。PLASMATHERM SLR 720には、完全に自動化されたIn-Situクリーニングシステムも含まれています。このユニットは、各エッチングサイクルの前に、チャンバーとプロセスチャンバー、ならびにすべての制御可能なコンポーネントを事前に処理します。in-situマシンは、チャンバーを清潔に保ち、汚染から解放するだけでなく、プラズマ源が最適な範囲で動作することを保証します。SLR 720は、自動ロードロックシステムと統合することができ、ユーザーが特定のニーズに合わせてレシピをプログラミングできるソフトウェアパッケージを備えています。さらに、このツールには、すべてのプロセスパラメータを簡単に監視および制御できるタッチパネルも装備されています。全体として、PLASMATHERM SLR 720は、精密マイクロエレクトロニクス業界のニーズを満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。現場でのクリーニングアセット、デュアルソース技術、および精密チューニング可能な電源により、優れた表面仕上げで高品質で再現可能なエッチングプロセスを実現します。