中古 PLASMATHERM SLR 720 #9153536 を販売中

PLASMATHERM SLR 720は、高度なエッチングとアッシングプロセスを効率的に実行するように設計されたエッチャーおよびアッシャーです。平面およびマイクログローブの両方の表面を正確かつ迅速にエッチングすることができ、微細加工部品およびデバイスの製造における幅広い用途を可能にします。この装置には、大規模で効率的なウェーハ処理用に設計された超小型RWE （Rapid Wafer Etching）チャンバーが含まれています。特許取得済みの高圧大気圧エッチャーは、基材の精密エッチングのための強力なソリューションです。SLR 720は、最適なエッチング制御のために複数の電極アセンブリを備えています。パルス変調された電源でパルス変調された無線周波数（RF）励起を使用して動作し、均一で可変的な電力レベルを提供します。これは、高度な静電制御システムと組み合わせて、基板材料エッチングを正確に制御し、反復可能な結果を可能にします。その自動プログラミングソフトウェアは、エッチングとアッシングプロセスレシピの迅速で簡単なプログラミングを可能にします。PLASMATHERM SLR 720には、オペレータがリアルタイムで結果を監視できる高度なプロセスモニタリングユニットが付属しています。診断センサーは、エッチングとアッシングのプロセスに関する詳細な情報を提供し、プロアクティブな制御とプロセス変化の防止を可能にします。さらに、自動化された排気機は、エッチングやアッシング時にガスや汚染物質を効率的に制御します。SLR 720は、金属およびシリコンウェーハの高精度エッチング用に設計されています。また、炭素繊維強化プラスチックやセラミック基板などの薄膜材料のエッチングにも使用できます。微細加工プロセスに最適なこのツールは、信頼性が高く、使いやすく、費用対効果が高いように設計されています。結論として、PLASMATHERM SLR 720は、高度なエッチングおよびアッシングプロセスにおいて正確で再現可能な結果を提供するように設計された信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーです。自動化されたシステム、包括的な診断、効率的な排気システムにより、オペレータは正確で繰り返し可能な結果を得るための簡単で費用対効果の高い方法を提供します。