中古 PLASMATHERM SLR 720 #9153526 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9153526
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
Aluminum chamber with load lock
Bottom electrode, 11"
MKS 286 Controller
(6) Zones heated chamber
MKS 290 Ion gauge controller
LEYBOLD 360 Turbo with 150/360 controller
ADVANCE ENERGY RFPP 5S RF Power supply
With AM5 matching network
Gas configuration:
(4) MKS 1159 MFCs (50,100,100,200 Sccm)
Operating system: Windows OS
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1996 vintage.
PLASMATHERM SLR 720は、精密なエッチングと高歩留まり動作を必要とするアプリケーション向けに設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。SLR 720は、反応性イオンエッチング(RIE)、イオンメッキ(IP)、ハードエッチング(HE)など、さまざまなエッチング処理を提供します。PLASMATHERM SLR 720は、高付加価値基板の加工に最適で、光学的にきれいな表面を提供します。SLR 720は高いプラズマパワーを備え、優れたエッチング性能と幅広いエッチング条件を提供し、最適なエッチング深さ、精度、パターン定義を実現します。エッチングとアッシングのプロセスは独立して制御され、高収量の生産に最適な条件を提供します。機械の内部には、正確な位置精度と再現性を高める高度なモーションコントロールシステムが含まれています。PLASMATHERM SLR 720はユーザーフレンドリーで使いやすいように設計されており、あらゆる学術および/または産業ユーザーが迅速かつ効率的にマシンに適応できるようにします。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、できるだけ簡単に操作できます。SLR 720の高度なエレクトロマグネトロンスパッタリング(EMS)機能により、優れた均一性と厚さ制御を備えた光学クリーンな表面を生成することができます。これにより、導電膜の成膜、パッシベーション、パターン基板のエッチングなど、幅広い用途に最適です。さらに、PLASMATHERM SLR 720は、事故防止に役立つ多数の安全機能を備えています。エッチングプロセスの副産物の放出を確実に規制し、安全なレベルで保つために、非常に厳格な排気ユニットが設置されています。メンテナンスと保守の面では、SLR 720は簡単かつ迅速なメンテナンス手順のために設計されています。直感的な予防メンテナンススケジューリングマシンは、メンテナンスが予定されているときにユーザーに警告し、常に最適な操作が達成されるようにします。結論として、PLASMATHERM SLR 720は、精度、性能、安全性の優れたバランスを提供する高度なエッチング/アッシャーツールです。高付加価値基板の加工に適しており、各種エッチング加工が可能です。直感的なGUIと予防的なメンテナンスアセットにより、あらゆるユーザーがその洗練された機能から簡単に恩恵を受けることができます。
まだレビューはありません