中古 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178 を販売中

PLASMATHERM SLR 720/720は、ハイスループットと高精度エッチングとアッシングの両方を必要とする幅広い用途向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この装置は、さまざまな基板、基板形状、およびエッチング深度の結果を最適化するためにプロセスパラメータを継続的に調整するスマート自己学習ロボット制御装置を備えています。SLR 720/720を使用することで、エッチングとアッシングのソリューションがこれまで以上に簡単、迅速、かつ正確になります。PLASMATHERM SLR 720/720は、産業用ロボットシステムに基づいており、ロボットアームに取り付けることができるさまざまな専用および多機能ツールで構成することができます。この単位は異なった適用およびプロセス条件に適するためにカスタマイズの高度を提供します。これは、さまざまなエッチングおよびアッシングソリューション用のさまざまな解像度およびアプリケーション固有のソフトウェアパッケージと互換性があります。レシピの最適化、プロセス制御、基板のロードとアンロードを含むエッチングおよびアッシングプロセスは、ソフトウェアインターフェイスを通じてのみ管理されます。SLR 720/720は、迅速かつ正確なローディング、アンロード、および基板のアライメントを可能にする高度なパーツハンドリングマシンを備えています。最も一般的なソリューションには、ロードロックとペリスタルハンドリングシステムがあります。ロボットツールはさらに、エッチングおよびアッシングツールが正確に制御され、各基板に対してプロセスパラメータが適切に調整されることを保証します。PLASMATHERM SLR 720/720は、幅広い容量とプロセスバリエーションをサポートします。これには、加熱チャンバー技術、2ガスクラスタ、プラズマクエンチ、およびPECVD、ならびにRIE/ICP、トリプル周波数、ALD、 CVD、 サブミクロンEtcherなどのエッチングおよびアッシング技術が含まれます。さらに、それはまた、化学物質の制御付加と除去だけでなく、インラインレシピをサポートしています。SLR 720/720は3つの必須部品で構成されています。1つ目は、ロボット制御と処理に必要なすべてのコンポーネントを収容する制御キャビネットです。2つ目は、ノズル、フランジ、クリーニングアセットを内蔵したエッチングおよびアッシングチャンバーです。最後の部分は、レーザースクライブ、マスク、検出器、ガスボックスなどのすべての必須ツールを含むエッチングおよびアッシングモデルです。PLASMATHERM SLR 720/720は、エッチングとアッシングのための独自の機能と機能の組み合わせを提供し、ユーザーは、高い材料使用率とプロセス効率で薄い基板と厚い基板の両方をエッチングして灰にすることができます。この装置は、高性能エッチングおよびアッシングソリューションを必要とする実験室やその他のアプリケーションに最適です。