中古 PLASMATHERM SLR 720 / 720 #293654493 を販売中

ID: 293654493
ヴィンテージ: 1998
Dual chamber Reactive Ion Etch (RIE) Robot loader (9) MFC Turbo pump RF5S RF Generator, 500 W, 13.56 MHz Does not include roughing pump PC Controller with graphical user interface Power supply: 208 V, 60 Hz, 3 Phase 1998 vintage.
PLASMATHERM SLR 720/720は、最も要求の厳しい産業要件のために設計された強力なハイエンドエッチャー/アッシャーです。この優れたエッチャー/アッシャーは、現代の工場のすべてのニーズを確実に満たす多くの最高級の機能と機能を提供します。SLR 720/720は汎用性が高く、Si、 Al、 Cu、 Ni、 Taなど幅広い基材に対応できます。機械は200°Cから500°Cに温度の範囲で働くことを可能にする高級な多周囲温度制御システムが装備されています。これにより、特定の材料とプロセスごとに最適な温度が維持されます。PLASMATHERM SLR 720/720は、最高の精度、速度、再現性で優れた結果を生み出すように設計されています。レーザーサービスウィンドウは、0.2µmから7.0µmまで、または特定の材料に0.1µmて小さく、0.05µmの精度が優れています。さらに、プログラムは500までの異なるレシピを簡単に保存してリコールすることができます。機械にまたレシピに従ってエッチングの深さを自動的に置くことによってバッチランで時間を節約できるプロセスナビゲーターがあります。SLR 720/720は密閉されており、高度なステンレス製の真空チャンバーを使用して、汚染と発煙への暴露を最小限に抑えたクリーンなエッチング処理を保証します。それは正確な結果を保障するために調理法に従って自動的にレーザー力を調節するエッチングされた深さセンサーが付いている動的プロファイリングシステムを含んでいます。また、自動シャットダウンや低温アラートなど、さまざまな安全機能を備えています。これらは、危険物質や材料を使用しながら、最高レベルの安全性を確保します。PLASMATHERM SLR 720/720は、最高の精度、スピード、再現性で優れた結果を提供するように設計された特別なエッチャー/アッシャーです。微細な精度と再現性で幅広い基材に対応し、危険物からの保護を実現します。高度な機能とハイエンドのパフォーマンスを備えたSLR 720/720は、現代の産業用途に最適です。
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