中古 PLASMATHERM SL 730 #9196400 を販売中

ID: 9196400
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
PECVD System, 6" CVD Processor USG 1990 vintage.
PLASMATHERM SL 730は、プラズマエッチングおよびアッシングプロセスを支援するために設計されたエッチャー/アッシャー装置で、さまざまな業界での研究、開発、生産に応用されています。高性能・高精度なエッチングと多種多様な素材を大量生産するための先進的なツールです。SL 730の主な特徴は、高性能マイクロ波発電機、高いハードウェア互換性、高いスループット率、高いプロセス安定性、および精度です。高性能マイクロ波発電機は、毎分3。5 cm²の最大エッチングとアッシング速度を可能にし、従来の方法よりも最大20倍のスループット速度を実現します。これにより、材料に関係なく、最大5µmの再現性を持つ部品を製造することができ、高いプロセス安定性と精度を実現します。また、アルミニウム、シリコン、チタン、タングステン、ガラス、プラスチックなど幅広い素材に対応しており、様々な素材や製品設計に対応しています。また、最大10年の長寿命と低メンテナンスを特徴とし、低エネルギー消費のために設計されており、効率的な操作を可能にします。PLASMATHERM SL 730には、ユニットの機能を強化するためにさまざまな周辺機器が付属しています。これらには、調整可能なガスボックス、自動ソース補充機能、取り扱いが容易なデュアルウェーハローダー、さまざまなエッチングおよびアッシングツールが含まれます。これにより、ユーザーは高容量であっても、正確かつ一貫して材料をエッチングすることができます。SL 730は、高性能で正確なエッチャー/アッシャーマシンを必要とする人に最適で、大量の生産と研究に適した機能を備えています。信頼性が高く、メンテナンス性が低く、高い精度で幅広い素材のエッチングや灰に使用でき、多様な用途に最適です。
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