中古 PLASMATHERM PLASMA903e #9282870 を販売中

PLASMATHERM PLASMA903eは、高度なプラズマエッチングおよびアッシング要件を満たすように設計されたプラズマエッチャー/アッシャーです。最先端のエンジニアリングにより、PLASMA903eは生涯の性能保証で正確で信頼性の高いエッチングとアッシングの結果を提供します。PLASMATHERM PLASMA903eには、より精密なエッチングとアッシングのための真空チャンバー、RF電源、および高流量配送装置が装備されています。高度なパワー、プロセス、真空制御システムにより、トータルエッチングとアッシングプロセスを可能にし、生産効率を最大限に高めます。プロセスオートメーションとECNデータフィードバックユニットは、ユーザーの利便性とプロセスの再現性のために実装されています。エッチャー/アッシャーは非常に精密で信頼性の高い機械です。精密なパターンを得るためには、± 2％のエッチング精度で深いエッチングとアッシングに最適です。エッチャー/アッシャーは、最先端のステンレス鋼とPEEK材料で設計された耐久性の高い密閉チャンバーに囲まれており、極端な温度、化学腐食、物理的衝撃に耐え、過酷な条件にもかかわらずワークを保持します。マシンには、ユーザーの利便性とプロセスの再現性のためのコンピュータ操作マルチプロセスコントローラが装備されています。プロセスチャンバーと基板の急速かつ均一な冷却のために自動プロセス冷却機が実装され、一貫したエッチングとアッシング品質が得られます。このツールはまた、急速な冷却時間と生産効率の向上を可能にします。PLASMA903eにまた直径1「から12」までウェーハの操作範囲があります。それに1000mTorr 20％以内の均等性の±の最高真空率があり、450°Cまで温度で作動させることができます。エッチング速度0。15ミクロン/秒までの高品質な材料を基板に供給することができます。この高性能エッチャー/アッシャーは、パフォーマンスを犠牲にすることなく、非常に正確なプロセスを提供します。これらの機能はすべて、PLASMATHERM PLASMA903eをハイテクエッチングとアッシングのニーズに最適なソリューションにするために集約されています。