中古 PLASMATHERM PLASMA901e-1 #9282868 を販売中

PLASMATHERM PLASMA901e-1は、幅広い材料向けに開発された強力で信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーです。精密制御、信頼性の高いパフォーマンス、高速処理、自動化されたシステムや手動の使用への統合の容易さを兼ね備えています。PLASMA901e-1は、高度なePRControl線形ステップパラメトリゼーションを備えた無線周波数（RF）プラズマソースを使用して、一貫した均一な操作を提供します。このエッチャー/アッシャーには、プラズマチャンバーの環境に最適なガス流量と制御を確保するために、完全自動真空チャンバ装置（FACS）が装備されています。FACSには、プロセスガスフローのインテリジェントな管理と、熱交換器、ポンプ、プラズマ光学素子が含まれています。このように、PLASMATHERM PLASMA901e-1は、誘電層、ドープフィルムおよびレイヤー、金属薄膜エッチング、金属およびセラミック合金エッチングなど、幅広い用途に最適化されています。PLASMA901e-1には、イーサネットまたはModbus TCP/IPを介した完全なリモート接続のためのシリアルバスインターフェイス（SBVI）も含まれており、処理システムとの直接通信を可能にします。これにより、ユーザーはエッチャー/アッシャーの操作をリアルタイムで監視し、必要に応じてパラメータを調整したり、ユニットをリモートでシャットダウンしたりすることができます。PLASMATHERM PLASMA901e-1は、安全性を念頭に置いて設計されており、安全な真空操作と適用される安全規制への準拠を保証する統合されたVSS （Vacuum Safety Machine）を備えています。原料に関しては、PLASMA901e-1は結晶シリコン、金属酸化物、窒化ケイ素、炭化ケイ素（SiC）、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、酸化アルミニウム（Al2O3）、その他の材料を含む幅広い互換性を持っています。また、標準のロードロックシステムとの互換性により、基板の自動処理も可能です。PLASMATHERM PLASMA901e-1は、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、エッチャー/アッシャーの簡単なセットアップ、設定、および監視を可能にします。また、調整可能なエッチング角度とEasyAxisTMアライメントツールにより、高度な異方性エッチング機能を備えており、驚くべき精度を実現しています。全体として、PLASMA901e-1はパワフルで洗練された信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、さまざまな材料で複雑で複雑な操作を行うように設計されています。直感的な設計、異なる基板との互換性、強力な高度なアダプティブエッチングにより、自動システムや手動の使用に最適です。