中古 PLASMATHERM PK 2440 #293604307 を販売中
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PLASMATHERM PK 2440は、PLASMATHERMが開発した高度なエッチング/アッシング装置です。これは、薄膜やサンプルのエッチングとアッシングのための効率的で費用対効果の高いソリューションです。このシステムは、生産および研究アプリケーションに精度と再現性を提供するように設計されています。PK 2440は、ステージを制御し、正確なサンプル位置決めを提供する独自の3軸電動ドライブユニットを備えています。高速ステッピングモータにより、薄膜や試料に高精度のエッチングとアッシングを実現します。さらに、このツールの自動化されたメカニズムにより、動的なサンプルの位置決めとチャンバークリーニングが可能になります。PLASMATHERM PK 2440は、幅広いエッチングおよびアッシング機能を提供します。薄膜エッチング、薄膜のアッシング、基板からの薄膜の放出などがあります。また、チャンバー汚染物質を低減するチャンバークリーニングオプションも備えています。この資産は、O2、 Ar、 Cl2、 SF6を含むプラズマベースのエッチング剤およびアッシング化学で動作します。このモデルの高速ターンキー操作は、一貫した再現性のある結果を提供し、サンプルチャンバーの自動洗浄プロセスにより、手動洗浄の必要性を低減します。また、広い20。2cm x 30。5cmの金属チャンバーと13cm x 19cmの積載エリアを備えており、幅広いサンプルサイズに対応しています。また、便利なユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、効率的な操作が可能です。また、自動ガスシャットオフバルブ、過圧リミッター、Eストップなどの高度な安全機能を備え、オペレータをあらゆる危険から保護します。PK 2440は、精密で反復可能なエッチングとアッシング機能を必要とする研究室や生産現場に最適なソリューションです。高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、薄膜やサンプルのエッチングとアッシングに効率的で費用対効果の高いソリューションを提供します。
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