中古 PLASMATHERM PK 24 #140728 を販売中
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24は、ラボおよび産業用途向けに設計された精密エッチング/アッシング装置です。酸素が豊富なプラズマで、金属、セラミックス、ガラス材料などの基板上の溝、凹凸、表面構造を生成することができます。統合されたソフトウェアは、エッチングとアッシングのための使いやすいパラメータを提供します。フライス工具、ドリルビット、レーザー切削工具などの付属工具は高効率で、長寿命で高精度です。さらに、PK 24はダイレクトデータアクセス、パラメーター制御、自動化されたプロセスおよび機械統合との容易で、友好的な操作を可能にします。このユニットには、デュアルヴォルテックスプラズマソースが含まれています。高度なボルテックスリアクター技術は、基板の均一なエッチングとアッシングを可能にし、高速サイクル時間で高品質の製品を保証します。内蔵の送風機は、エッチングとアッシング時間を短縮し、安定した安定したプラズマを提供し、優れた製品の一貫性を実現します。PLASMATHERM PK 24はまた、経済的なガス管理と低コストの消耗品を提供します。ガスモニタリングマシンは、ガスの自動配送を可能にし、安全で信頼性の高い操作を保証します。供給容器はモジュール式で、異なったガスの消耗品そして使用法の容易な変更を可能にするために開けられます。PK 24は、作業面積245 x 245 mmの中型チャンバーを備えており、幅広い用途に最適な柔軟性を提供します。PLASMATHERM PK 24は、代替エッチングおよびアッシングシステムと比較して、大きな作業エリアとプロセス領域を備えており、より大きな基板に適しています。PK 24は安全性と信頼性のために設計されています。チャンバーおよびその他のコンポーネントは、清潔でほこりのない作業環境、ならびに温度とガスの安定性のために設計されており、工業運転において一貫した性能を提供します。さらに、ツールのトップカバーと液冷アセットは、チャンバー内の凝縮の問題を解決します。PLASMATHERM PK 24は使いやすく、メンテナンスも簡単で、オペレータは必要なすべてのデータと制御パラメータにアクセスできます。その読みやすい制御および診断パネルは最高の効率および信頼性のために設計されています。さらに、プローブやセンサーなど、必要な安全装置や安全機能はすべて統合されており、作業エリアでの事故を防ぎます。その結果、PK 24は優れたセキュリティと安全な作業環境を提供します。
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