中古 PLASMATHERM Clusterlock 7000 #9178962 を販売中

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ID: 9178962
Vacuum transfer module (2) PT7000 RIE/PECVD Systems With (1) Cassette load / Unload module Substrates: 500 mm x 500 mm (6) Transfer ports: 630 mm wide x 120 mm high Motorized lid hoist underneath VTR-Robot with end-effector Chamber Cassette loader Genmark lift robot.
PLASMATHERM Clusterlock 7000は、さまざまな基板で正確なエッチングまたはアッシュ機能を生成するための幅広い機能を提供する高度なエッチャー/アッシャー機器です。高度な半導体技術を活用して、Clusterlock 7000は、生産要件を満たすために最適化されたサイクルタイムと差別化機能を提供します。エッチャー/アッシャーは、高感度で難易度の高い材料を使用する場合にも優れた性能を発揮します。PLASMATHERM Clusterlock 7000のモジュール設計により、狭いスペースでの迅速かつ簡単な設置とメンテナンス作業が可能です。また、このシステムの設計により、プロセス制御および監視システムの統合が容易になり、最適なエッチングおよびアッシングパラメータが一貫して満たされるようになります。このユニットはまた、敏感な材料のための余分なプロセス固有の安全プロトコルを可能にします。Clusterlock 7000の自己完結型マシンは、比類のないレベルの安全性、セキュリティ、および精度を提供します。プロセス設定を容易にし、個別化するために、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスは、簡単に操作し、所望のプロセスパラメータを完全に制御することができます。PLASMATHERM Clusterlock 7000は、高度な材料切断技術と高度なフローダイナミクスを使用して、正確で正確なエッチングとアッシングプロセスを保証します。エッチャー/アッシャーの統合された自動洗浄ツールは、さまざまな基板で非常に正確な機能を生成する機能をさらに強化します。Clusterlock 7000エッチャー/アッシャーも、市場で利用可能な最もエネルギー効率の高いシステムの1つを誇っています。この資産には、最適な空気品質を確保するための集塵および濾過システムも含まれています。低エネルギー消費と排出レベルで、PLASMATHERM Clusterlock 7000は最高の環境基準を満たしています。Clusterlock 7000は、あらゆるアプリケーションに非常に汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。そのモジュールは、既存のプロセスや設計と迅速かつ簡単に統合できます。このモデルは、安全性、安定性、および低エネルギー消費を維持しながら、エッチングおよびアッシングプロセスのための優れた精度、精度、および制御を提供します。
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