中古 PLASMATHERM AMNS-3000E #293604270 を販売中

PLASMATHERM AMNS-3000Eは、高効率で信頼性の高い最先端のエッチング/アッシング機器です。銅、ポリイミド、シリコン、ガラス、金属など様々な基材の精密エッチング/アッシング用に設計されています。このシステムは、フラットパネルディスプレイ、磁気記録メディア、半導体デバイス製造などのアプリケーションの手動または自動動作用に構成できます。エッチング/アッシングユニットは、入力プラテン、出力プラテン、エッチング/アッシングチャンバーの3つの主要コンポーネントで構成されています。入力プラテンは、20 x 20インチまでの基板に対応するように設計されています。これは、基板をサポートするために垂直に移動するプラットフォームだけでなく、プラテンへの適切な接着を確保するために、2段の真空機を利用しています。出力プラテンは、最大8基板を保持するように設計されています。これは、可変周波数駆動モータによって駆動される必要なコンベアベルトツールを備えています。エッチング/アッシングチャンバーは、2段プラズマ注入モデルを備えたアセットの心臓部です。これは、エッチング/アッシング用のAr/O2プラズマと、各プロセスを独立して制御するための高調波駆動装置の両方を提供します。このシステムには、プロセス最適化のためのマイクロコンピュータと、タスク管理のためのプログラム可能なインターフェースが装備されています。また、加圧チャンバー、人員を保護するインターロックマシン、最適化されたプロセス歩留まりのための調整可能なガス流量制御など、多くの安全機能を備えています。エッチング/アッシングツールに加えて、AMNS-3000Eには強力な制御ソフトウェアパッケージも含まれています。このパッケージは、高度なプロセス制御と自動化されたレシピ管理をユーザーに提供するように設計されており、ユーザーは重要なプロセスレシピを簡単に保存およびアクセスできます。ソフトウェアはまた、ユーザーがすべてのハードウェアパラメータを監視するだけでなく、プロセス操作を調整、診断または微調整することができます。PLASMATHERM AMNS-3000Eは、さまざまなエッチング/アッシング操作に最適な資産です。その高度な機能と優れたプロセス信頼性は、それを例外的な値にします。そのユーザーフレンドリーなデザインのおかげで、モデルはまた使いやすく、一貫性のある結果を何度も提供することができます。