中古 PLASMATHERM A360 #138938 を販売中

PLASMATHERM A360
ID: 138938
ウェーハサイズ: 5"
Etchers, 5".
PLASMATHERM A360は、高性能な結果を生み出す高度な機能と機能を備えたエッチャー/アッシャーです。それは独立した制御の4つのガス圧力設定を特色にし、それを非常に正確にし、ユーザーが彼らの基質のエッチングプロセスを正確に制御することを可能にします。チャンバーは、最高品質の結果と患者の安全を確保するために、高度なエンジニアリング材料を使用して構築されています。チャンバー内部は、完璧な仕上げのために滑らかに研磨され、エッチング操作が均一で反復可能であることを保証します。また、A360には革新的な温度測定技術が搭載されており、エッチング面のさまざまな点で温度を測定することができ、最高の正確なエッチングを可能にします。PLASMATHERM A360は、真空インターロック、過圧安全機能、外部環境への汚染物質や排気をダイレクトに排出する排気ディフューザー、システムのパフォーマンスを監視できるデジタルマインダーなど、さまざまな安全機能を備えています。特許取得済みの全自動プロセス制御(FAPC)システムにより、ユーザーは最大30種類のプロセスレシピを簡単に設定して保存でき、誰がマシンを使用してもプロセスが一貫して信頼性が維持されます。A360は3つの異なったエッチングの基質および8つまでエッチングされた特徴を提供する多目的な装置の部分です。各プロセスは、産業規模で達成された均一なエッチング結果と一致しています。PLASMATM PLASMATHERM A360は、エッチガス混合、エッチガス流量制御、プレートエッチング電力、基板ファセットコントロールなど、さまざまなオプションを使用して、お客様の特定のニーズに合わせて調整することができます。全体として、エッチングプロセスA360最大8つ、ガス圧力設定を4つまで提供する高度な技術で、基板タイプごとにエッチングプロセスをカスタマイズできます。安全機能と統合された温度監視システムにより、ユーザーの安全とプロセスの信頼性を保証します。
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