中古 PLASMATHERM 790 #9296260 を販売中

PLASMATHERM 790は、シリコン、金属、ポリマー、石英を含む幅広い電子材料の高速、信頼性、再現性に優れた処理用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。半導体ウェーハの均一なプラズマエッチングとアッシングを提供し、ウェーハからの有機材料の除去にも使用できます。790は、誘導結合されたデュアル周波数RF電源を使用して、処理チャンバ内で非常に均一で安定したプラズマを生成することによって動作します。このプロセスにより、狭いプロセスウィンドウを作成でき、エッチングパラメータを正確に制御できます。チャンバーはクォーツビューポートで密閉されており、標準およびカスタムサイズのウェーハを含む幅広いウェーハ設計を処理することができます。PLASMATHERM 790には、最高品質の結果を保証するための多くの高度な機能が含まれています。プロセスパラメータのリアルタイム表示、プロセス開発時の再現性とトレーサビリティを実現するデータロギング機能を備えています。このユニットは、リモートモニタリングと制御のためのホストコンピュータと統合することもできます。この機械は、エッチング速度の変化を最小限に抑え、幅広い材料と厚さで再現性のある均一なエッチプロファイルを生成することができます。これは、従来のエッチングシステムと比較して、低消費電流レベルと低消費電力で、信頼性が高いです。全体として、790は高度で汎用性の高いエッチャー/アッシャーツールで、エッチングおよびアッシング用途において信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いプロセス制御をお探しの企業に最適です。