中古 PLASMATHERM 790 #9156796 を販売中

PLASMATHERM 790は、幅広い精密エッチングおよびアッシング用途向けに設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。24インチの産業用グレードのクォーツチャンバーを備えた790は、高速エッチング/アッシングと高品質の結果に、信頼性の高いアクティブ配線と最大400ワットの電力を提供します。高度な制御システムと高度な診断に加えて、PLASMATHERM 790には、調整可能なガス圧力設定、動的温度センサー、アクティブな熱安定性監視など、さまざまな安全機能が搭載されています。790には、高速エッチング/アッシングを可能にするプラズマ発生器が内蔵されています。さらに、PLASMATHERM 790には窒素パージ装置が装備されており、エッチング/アッシングプロセス中に酸素、窒素、およびその他のガスが均一に存在することを保証します。このシステムは、プロセス全体で均一な圧力を確保するためのガスバランシングと遷移モード、およびステップ間のクイックウェーハシャッフリングを備えています。また、790は高度な温度制御技術を備えており、エッチング/アッシング時に最適な温度条件を確保するために、組み込みのアクティブ保護ユニット（APS）を備えています。APSは、チャンバの温度を自動的に調整し、それに応じて電力レベルを調整して、プロセス全体で正確な温度条件を維持します。PLASMATHERM 790のエッチング速度は精密で一貫しているため、正確な結果を必要とする幅広いアプリケーションに最適です。これは、毎分数ミクロンから数百ミクロンまでのエッチング深度の範囲を提供します。さらに、790の高度な診断マシンを使用すると、エッチング/アッシングプロセスに関する問題をすばやく特定してトラブルシューティングできます。要約すると、PLASMATHERM 790は、幅広い材料の精密で反復可能なエッチング/アッシングを可能にするように設計された信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。最大400ワットの電力を供給し、高度な制御技術とリアルタイム診断機能を備えており、正確な結果を保証します。790また、調節可能なガス圧力設定と温度センサー、ならびにアクティブ保護システムを備えており、チャンバー内の信頼性と均一なガス流量を確保します。