中古 PLASMATHERM 790 #9113757 を販売中

PLASMATHERM 790エッチャー/アッシャーは、ウェーハ上のマイクロエレクトロニクス部品の製造のためのツイン、完全に自動化されたプラズマエッチングおよびアッシングプロセスです。エッチバックとアッシングアプリケーションの両方を実行する際の柔軟性と信頼性を提供します。高度なエッチバック技術は、高圧プラズマ源を利用し、ウェーハ表面全体に均一なプラズマ量を供給することで、ウェーハ上の高いプロセス均一性を提供します。このマシンはまた、エッチングパラメータの包括的な範囲を提供し、最適なエッチング結果のためのさまざまなガスの組み合わせと圧力レジームの広い範囲を提供します。バックエッチプロセスは、異なる材料間の選択性が重要であるRIEなどのアプリケーションに合わせて調整されています。自動ソース制御により、優れた均一性が保証されます。インプロセスのクリーンアッシングには、バックエッチングプロセスと同じ高効率と均一性があります。最新の低圧プラズマ技術を活用した独自のプラズマアッシング（PA）は、積極的な有機および無機材料の異質な熱プラズマ蒸発を提供します。熱血漿アッシングプロセスは、厚い誘電体から貴金属まで、幅広い材料のクリーンエッチングを提供します。このシステムにはマルチガスフローコントローラが装備されており、反応性ガス混合物を簡単に使用することができます。ロードロックチャンバー、ロボット、基板との包括的なインターロックは、安全な動作を保証し、プロセス制御ソフトウェアは、初期化とプロセス開発のために直感的で使いやすいです。高度なエンドポイント検出システムがプロセスに組み込まれ、特定の試料反射および/または基板電圧を測定します。これらの光学パラメータにより、プロセス全体を完全に監視できます。システムは、フロント/バックサイドウェーハハンドリングロボットと互換性のある構成の選択で利用できます。要約すると、790エッチャー/アッシャーは優れた均一性、プロセスの柔軟性、再現性、および自動エンドポイント認識を提供し、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの製造のコスト効率を向上させます。