中古 PLASMATHERM 790 #293823821 を販売中

PLASMATHERM 790はエッチングされたチャンバーで、超高エッチング率プロセスと組み合わせた精密熱制御を提供するように設計されています。高いエッチング速度でプラズマエッチングとアッシングプロセスの両方を実行し、正確な熱制御を提供する完全なエッチング装置です。790のコアエレメントは、信頼性が高くメンテナンスを最小限に抑える堅牢な構造を備えた最先端のプロセスチャンバーです。このチャンバーは、エッチングおよびアッシング処理を安全に行い、これらのプロセスに最適なプロセス環境を提供するように設計されています。チャンバーの最先端の設計により、再現性の高いプロセス性能が保証され、優れたエッチング速度性能と均一性を実現します。PLASMATHERM 790は、統合されたRFジェネレータとアイソレータを使用して動作します。これにより、システムは最大1。2キロワットの電力レベルで動作し、最大周波数は13。56 MHzです。これらのパワーレベルは、高度なエッチングおよびアッシングプロセスに十分な電力と性能を提供します。さらに、ユニットはまた、統合されたガス制御を介してプロセスガスの流れと圧力率を制御する能力を持っています。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスパラメータを正確に制御でき、プロセスの再現性と制御性が向上します。790は最高の信頼性および製品品質のための優れた材料およびハードウェアと組み立てられます。これにより、マシンは厳しい基準に基づいて構築され、優れた性能を発揮します。さらに、このツールには統合された冷却チラーアセットも含まれており、すべてのコンポーネントがプロセス全体を通して涼しく保たれます。PLASMATHERM 790は、高性能エッチングおよびアッシングプロセスに最適です。優れた熱制御と超高エッチング率を必要とするプロセス向けに設計されており、精密制御と信頼性の高い結果を提供します。また、信頼性が高く、設備メンテナンスの必要性を低減し、費用対効果の高い選択肢となっています。